一、半導體無塵烤箱設(shè)備用途:
半導體無塵烤箱Class 100百級潔凈無塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
二、半導體無塵烤箱產(chǎn)品特點：
1、在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100級；
2、內(nèi)膽四周氬弧焊，耐高溫硅膠密封，SUS304#不銹鋼加熱器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3、采平面水平送風后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter裝置往前 (特殊風道設(shè)計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
4、箱內(nèi)空氣封閉強制自循環(huán)，經(jīng)耐高溫空氣過濾器反復過濾，使干燥箱工作室內(nèi)處于無塵狀態(tài)。水平循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，溫度控制精度。
5、配壓差計隨時了解過濾器工作狀態(tài)。
三、半導體無塵烤箱潔凈度100級的潔凈熱處理：
HEPA高效過濾器與前出風型水平層流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與Class 100級潔凈度小限度控制風速距離。
三、技術(shù)參數(shù)：
設(shè)備型號 | EVC 150L□ | EVC 320L□ | EVC640L□ | EVC 270L2【雙層】 | |
內(nèi)箱尺寸W*D*H mm | 500×500×600 | 600×600×900 | 800×800×1000 | 700×700×500 | |
外型尺寸W*D*H mm | 以實物為準(溫度不同外箱尺寸不同) | ||||
工作溫度范圍 | A: 250℃ B: 300℃ | ||||
潔凈度 | Class 100級（可定制Class 1000級，Class 10000級） | ||||
性能 | 解析精度 | 0.1℃ | |||
分布均勻度 | ±2.5℃% | ||||
材質(zhì) | 外部材質(zhì) | SPCC鋼板粉體烤漆處理 | |||
內(nèi)部材質(zhì) | SUS﹟304鏡面不銹鋼板 | ||||
隔熱材質(zhì) | 玻璃纖維棉/陶瓷纖維棉 | ||||
密封材料 | 硅橡膠 | ||||
加熱方式 | 熱風循環(huán)加熱/自然對流加熱/熱輻射加熱 | ||||
加熱系統(tǒng) | 不銹鋼高速加熱器 | ||||
計時器 | 0.1S～9999H | ||||
溫控器 | 普通數(shù)顯溫控型/觸摸屏PLC程序控制器 | ||||
其它配件 | 多層強化玻璃視窗（260℃以內(nèi)），隔層置物架（兩片） | ||||
安全裝置 | 電路系統(tǒng)負載保護，風機過載保護，溫到計時時到斷加熱，故障警示燈 | ||||
選配件 |
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設(shè)備電源 | AC 220V或380V 50HZ | ||||
備注：1、以上數(shù)據(jù)均在環(huán)境溫度（QT）25℃.工作室無負載條件下測得。 | |||||
