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廣電計量檢測集團股份有限公司

杜邦蝕刻殘留物去除液

參考價 1500
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱北京中科復華科技有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       號杜邦 EFC26
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2024/4/28 16:47:44
  • 訪問次數221
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北京中科復華科技有限公司是一家致力于為半導體領域和微納米科學領域提供綜合性解決方案,為全國各大高校、科研院所及企事業單位提供的半導體設備儀器和微納米科學儀器,擁有一支經驗豐富、技術過硬的技術團隊。能夠出色地完成售前、售中、售后的服務。未來公司將不斷和引進在微納米科學領域中起重要作用的新儀器和新產品,同時也與全國各所的大學、學院和科研院所建立了良好的合作關系,致力于把具有市場前景的科研成果推向市場。愿與中、外同仁廣泛合作, 為中國的教育與科研事業在廣范圍、高層次上提供服務。

電子束曝光系統,刻蝕設備,鍍膜設備,光刻機
EKC265™蝕刻后殘留物器廣泛應用在半導體行業,以滿足關鍵的清潔需求            
從高深寬比MEMS器件100μm+ 到DRAM 的70nm集成的各個階段
杜邦蝕刻殘留物去除液 產品信息

EFC265   接觸清潔,金屬線清潔,TSV深硅穿孔清潔等

杜邦™plasmasolv®ekc265™蝕刻后殘留物去除

 

杜邦plasmasolv®ekc265™蝕刻后殘留物去除      

   

清洗接觸,金屬,穿孔和Pad

 

高度選擇性的殘留物去除 應用:        

應用EKC265™蝕刻后殘留物器廣泛應用在半導體行業,以滿足關鍵的清潔需求            

從高深寬比MEMS器件100μm+ DRAM 70nm集成的各個階段

下面列出了常見的應用程序: 

 

接觸清潔            

金屬線清潔

TSV深硅穿孔清潔           

鎢埋位線清洗            

聚酰亞胺清洗            

Pad清潔           

MEMS清洗

特征:

所有蝕刻后鋁清洗的單一解決方案

去除重有機殘留物

寬工藝窗口

高產率 

穿孔接觸電阻降低

鋁清洗行業基準


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