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CS200質量流量計氣體配比器

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公司名稱鄭州科探儀器設備有限公司
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廠商性質生產廠家
更新時間2024/4/28 10:27:08
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公司介紹主營產品

鄭州科探儀器設備有限公司是集開發、制造、經營為一體的材料設備創新型企業，如今公司的產品已經遍布國內大多數實驗室，科探儀器已經成為老師同學和信任的品牌。公司以科技創新為主，服務社會為宗旨，積極設計開發新型材料制備設備，奉獻于教育和科學，經過長期的研發和不斷地技術積累，擁有熱工，制造，控制相關技術項為化學，物理，材料，電子，高分子工程，新材料制備和研發領域的科學研究提供了精良設備。公司通過和院校老師同學強強聯合，形成了有效的信息，技術交流平臺，為科探儀器了解市場需求提供了強有力的支持！

目前公司已研發生產產品十多個系列幾十款產品，產品囊括實驗電爐 CVD供氣系統等離子清洗機小型離子濺射儀小型蒸鍍儀石英管真空封口真空探針臺半導體等。主要適用于科研院校及工礦企業在新材料、新能源等領域物理特性及化學特性的研究，廣銷于各大院校，及材料研究所。

公司與國內高校，科研院所有多層次的合作關系，建有開放實驗室，相關領域的教授、工程師、博士參與公司產品的研究和開發。我們秉承公司的發展理念，依靠嚴謹的技術研發能力，科學合理的生產工藝，精益求精的制造要求，全心全意做好產品質量和服務工作，科探儀器時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。

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小型濺射儀，小型蒸鍍儀，真空試管封口機，真空探針臺，等離子清洗機，真空加熱腔

產品簡介在線詢價

CS200質量流量計氣體配比器，CS200采用*傳感器和溫度補償技術，因此產品精度可以達到設定值1%以內，并且低溫度系數可以保證產品適應不同的環境溫度。同時，產品采用高速控制算法使整個流量計的響應時間方面更加岀色。全量程范圍內，CS200C產品可在800ms以內達到設定流量，響應時間將使用過程中產生的系統誤差最小化，所需流量更加精準。

CS200質量流量計氣體配比器產品信息

CS200質量流量計氣體配比器

CS200質量流量計氣體配比器 KT-C4ZS模擬質量流量控制器高精度型,快響應型流量控制流量檢測國際兼容用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業

CS200氣體質量流量控制器，采用*傳感器和溫度補償技術，因此產品精度可以達到設定值1%以內，并且低溫度系數可以保證產品適應不同的環境溫度。同時，產品采用高速控制算法使整個流量計的響應時間方面更加岀色。全量程范圍內，CS200C產品可在800ms以內達到設定流量，響應時間將使用過程中產生的系統誤差最小化，所需流量更加精準。

• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現象，保證了傳感器線性。

• CS200C產品采用專門的金屬表面處理技術，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS200C產品金屬表面粗糙度更可達10RA以下，CS200D產品金屬表面粗糙度可達25RA。

• CS200產品嚴格按照SEMI標準生產制造，尺寸符合國際通用的SEMI標準。

• CS200系列產品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數字，模擬輸入輸出。

• 產品支持RS485，DeviceNet通訊方式。

• 具有多氣體多量程功能、自動歸零功能、報警功能、軟啟動功能、延遲功能及功能強大的免費客戶端使用軟件。

技術參數

CS200
類型	CS200-A		CS200-C		CS200-D
閥類型	常開(100 SCCM≤流量規格≤5 SLM) 或常閉	無	常開(100 SCCM≤流量規格≤5 SLM) 或常閉	無	常開(100 SCCM≤流量規格≤5 SLM) 或常閉	無
流量規格(N2)	(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM		(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
準確度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
線性	±0.5% F.S.
重復精度	±0.2% F.S.
響應時間	≤ 1sec		≤ 0.8sec
工作壓差范圍	0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量規格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量規格≤50SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量規格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量規格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量規格＞10SLM	＜0.02 MPa
工作壓力	0.45MPa
溫度系數	零點： ≤±0.05% F.S./℃；調節時： ≤±0.1% F.S./℃ 流量規格≤30SLM 調節時： ≤±0.2% F.S./℃ 流量規格＞30SLM		零點： ≤±0.02% F.S./℃；調節時： ≤±0.05% F.S./℃
耐壓強度	3MPa
漏率	1×10^-10 Pa·m³ / sec He		1×10^-11 Pa·m³ / sec He
密封材料	氟橡膠		金屬密封
工作環境溫度	（5～45）℃		（0～50）℃
輸入信號	數字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	無	數字： RS485 或DeviceNet 或 ProfiBus 模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	無	數字： RS485 或DeviceNet 或 ProfiBus 模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	無
輸出信號	數字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA
零漂	在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年
電源	±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極)
表面化學成分	常態		Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 （埃）		常態
表面粗糙度	25 Ra		10 Ra		25 Ra
標準接頭形式	雙卡套 φ6；雙卡套 1/4′′；雙卡套 3/8′′；VCR1/4′′陽接頭；雙卡套φ3；雙卡套 1/8′′；VCO 1/4";φ6(內)x1 軟管接頭; φ5(內)x1.5 軟管接頭； φ4(內)x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm；A 型密封接頭;		雙卡套φ3；雙卡套φ6；雙卡套 1/4；VCR1/4 陽接頭； 1.5′′C 型密封接頭;1.5′′ W型密封接頭
電源接頭形式	D 型 9 針陽接頭；D 型 15 針陽接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭
重量	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg	1.2Kg	1Kg