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微機控制靜電吸盤測試臺

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱濟南信標(biāo)自動化設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 更新時間2024/4/27 7:54:49
  • 訪問次數(shù)73
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濟南信標(biāo)自動化設(shè)備有限公司是專業(yè)生產(chǎn)動、靜態(tài)材料試驗機和提供各類力學(xué)測試系統(tǒng)的新技術(shù)企業(yè)。是國內(nèi)民營試驗機行業(yè)的翹楚企業(yè)。公司總部位于中國北京,下設(shè)廣州分公司和濟南分公司,

濟南信標(biāo)自動化設(shè)備有限公司是國內(nèi)生產(chǎn)材料試驗機的先導(dǎo)企業(yè),是集科研、開發(fā)、生產(chǎn)、服務(wù)為一體的技術(shù)密集型企業(yè)。擁有以中科院院士、材料學(xué)家教授為總顧問的技術(shù)隊伍,公司共有員工70多人,其中中高級技術(shù)人員16人,享受國家技術(shù)津貼的試驗機專家2人,從事材料試驗機研制生產(chǎn)20年以上的高級工程師10多人。是國內(nèi)同行業(yè)中技術(shù)力量最雄厚,創(chuàng)新能力較強的企業(yè)。


濟南信標(biāo)自動化設(shè)備有限公司通過發(fā)展,已經(jīng)形成集團化經(jīng)營模式,下設(shè)“電子試驗機公司、液壓疲勞試驗機公司、專用試驗機公司”三個專業(yè)產(chǎn)品公司以及“軟件公司、用戶服務(wù)中心、材料檢測及試驗機技術(shù)研究所”。濟南信標(biāo)自動化設(shè)備有限公司專注于新型材料試驗機的研制、材料檢測技術(shù)的提高以及材料試驗方法的創(chuàng)新,通過刻苦的鉆研與發(fā)展,,成為國內(nèi)能夠全面提供材料試驗技術(shù)和試驗機制造的企業(yè),“Beacon Auto”成為從技術(shù)能力等各方面能試驗機公司抗衡的國產(chǎn)試驗機品牌。

濟南信標(biāo)自動化設(shè)備有限公司產(chǎn)品分為動態(tài)疲勞試驗機、專用試驗機及靜態(tài)電子式試驗機、液壓式試驗機兩大類別,包括微機控制電液伺服疲勞試驗機、多通道協(xié)調(diào)加載試驗系統(tǒng)、擬動力(靜力)加載試驗系統(tǒng)、汽車零部件試驗臺、電液伺服腐蝕疲勞試驗機、電液伺服拉扭疲勞試驗機、高頻疲勞試驗機、電子式疲勞試驗機、微機控制電子試驗機、微機控制液壓試驗機、電液伺服巖石三軸試驗機、微機控制臥式拉力試驗機、微機控制高溫蠕變持久試驗機、微機控制應(yīng)力松馳試驗機、微機控制全自動扭轉(zhuǎn)試驗機、微機控制全自動杯突試驗機、扭拉摩擦試驗機、沖擊試驗機、專用試驗機等10多大系列200多個品種。廣泛應(yīng)用于航天航空、車輛制造、土木工程、核能、冶金、家電、建材、包裝等行業(yè)以及質(zhì)檢、科研、教學(xué)等領(lǐng)域?qū)饘佟⒔Y(jié)構(gòu)件、零部件、塑料、橡膠、薄膜、土工布、紗線、纖維、紙張、電線電纜、彈簧、鋁塑復(fù)合管、人造大理石、水泥、包裝材料、膠帶等進行循環(huán)、疲勞、振動、松馳、蠕變、拉伸、壓縮、彎曲、撕裂、剝離、剪切、穿刺、頂破、扭轉(zhuǎn)、杯突等力學(xué)性能測試和分析。



蠕變持久試驗機、人造板試驗機、醫(yī)用接骨板彎曲試驗機、抗壓抗折一體機
微機控制靜電吸盤測試臺一基本功能:靜電吸盤的吸附原理主要基于靜電吸附
微機控制靜電吸盤測試臺 產(chǎn)品信息

微機控制靜電吸盤測試臺

基本功能:

靜電吸盤的吸附原理主要基于靜電吸附。在沒有等離子體的環(huán)境下,當(dāng)直流電極接通到高壓(低流)直流電源后,電介質(zhì)的表面會產(chǎn)生極化電荷。對于庫侖吸盤吸盤不同種類中的一種而言,這會導(dǎo)致電介質(zhì)表面出現(xiàn)極化電荷。而對于JR吸盤,除了極化電荷外,還有一部分自由電荷,因為這類吸盤的電介質(zhì)具有一定的導(dǎo)電性。這些表面電荷會產(chǎn)生電場,該電場進一步在置于吸盤之上的晶片表面產(chǎn)生極化電荷,這些電荷的分布與吸盤上的電荷極性相反。當(dāng)晶片背面分布的電荷與吸盤上相反時,晶片就被吸盤吸附住了。靜電吸盤通過施加外部高壓,利用靜電吸附力或J-R吸附力來固定硅片。這種吸附力使得硅片能夠被穩(wěn)定地固定在吸盤上,以滿足半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的應(yīng)用需求

為了保證晶圓不與吸盤接觸, 吸盤表面均布氦氣孔, 用于生產(chǎn)氣墊拖住晶圓 使之與電極產(chǎn)生的吸力平衡

測試原理:

微機控制靜電吸盤測試臺配置不同規(guī)格晶圓尺寸的被動吸盤, 吸盤背面預(yù)留對應(yīng)出氣孔位置的氣體接口, 每個接口用于連接對應(yīng)的壓力和流量傳感器, 最多預(yù)留16路接口, 16路的壓力和流量對應(yīng)顯示在計算機上,

被動吸盤整體與測力傳感器連接, 當(dāng)靜電吸盤工作時, 可以測試不同電壓下和不同的氣體流量壓力時 實時對外輸出的力, 可以校正不同電壓時,對應(yīng)不同的氣體流量,分別輸出的實際吸力,并且實時顯示每一路氣體的壓力流量, 用于校正晶圓整體受力是否均勻。

1靜電吸盤測試臺4.png

微機控制靜電吸盤測試臺基本參數(shù)

1. 吸附力:500N

2. 力值精度:±0.5%

3. 適配晶圓規(guī)格:10/8/5

4. 傳感器壓力范圍:0.1-50torr

5. 傳感器流量范圍:0.1-500sccm

6. 傳感器精度:±1%

7. 傳感器供電:24V

8. 系統(tǒng)耐壓等級:1000V

9. 外形尺寸:1200*950*1650

10. 整機功率:2kw

11. 整機重量:260kg

微機控制靜電吸盤測試臺基本配置:

1. 鋁合金臺架        一套

2. 大理石臺面        一套

3. 垂向移動滑臺      一套

4. 吸盤安裝座        一套

5. 被動吸盤          一套

6. 氣體轉(zhuǎn)接板        一套

7. 壓力傳感器        16

8. 流量傳感器        16

9. 通訊轉(zhuǎn)換器        1臺(35路)

10. 計算機及軟件     一套

11. 隨機工具         一套

12. 防靜電腳墊       若干

13. 防靜電手環(huán)        2

標(biāo)簽:微機控制靜電吸盤測試臺

 


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