產品簡介:
EVG Hercules是一款集成了晶圓清洗、涂膠、烘烤、光刻等工藝的全自動大型工藝平臺,具有功能多、產量高的特點。
主要特點及參數:
·支持12英寸(300mm)晶圓
·支持易碎、薄片及翹曲晶圓的處理
·支持Casettes-to-Casettes全自動運行
·可擴展8個濕法模塊或24個烘烤、冷卻、真空模塊
產品簡介:
EVG Hercules是一款集成了晶圓清洗、涂膠、烘烤、光刻等工藝的全自動大型工藝平臺,具有功能多、產量高的特點。
主要特點及參數:
·支持12英寸(300mm)晶圓
·支持易碎、薄片及翹曲晶圓的處理
·支持Casettes-to-Casettes全自動運行
·可擴展8個濕法模塊或24個烘烤、冷卻、真空模塊
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