產品簡介:
EVG 610(NIL)是一款基于EVG610光刻機的紫外納米壓印設備,可針對壓印、光刻、對準功能進行快速轉換。
主要特點及參數:
·支持6英寸(150mm)晶圓
·分辨率可達40nm(取決于模版和工藝條件)
·支持汞燈或的UV-LED光源
·可選配功能:
鍵合對準
紅外對準
納米壓印光刻(NIL)
微接觸印刷
產品簡介:
EVG 610(NIL)是一款基于EVG610光刻機的紫外納米壓印設備,可針對壓印、光刻、對準功能進行快速轉換。
主要特點及參數:
·支持6英寸(150mm)晶圓
·分辨率可達40nm(取決于模版和工藝條件)
·支持汞燈或的UV-LED光源
·可選配功能:
鍵合對準
紅外對準
納米壓印光刻(NIL)
微接觸印刷
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