產品簡介:
EVG7200是一款全自動化的紫外納米壓印設備,相比EVG720可適用于更大尺寸的基板,能在大面積、高產量、低成本的條件下加工出高精度的納米結構,非常適合于下一代微流控器件、光學器件,例如光學衍射元件(DOE)。
主要特點及參數:
·支持8英寸(200mm)晶圓
·分辨率可達40nm(取決于模版和工藝條件)
·專有的適用于SmartNIL的多用途聚合物軟板技術
產品簡介:
EVG7200是一款全自動化的紫外納米壓印設備,相比EVG720可適用于更大尺寸的基板,能在大面積、高產量、低成本的條件下加工出高精度的納米結構,非常適合于下一代微流控器件、光學器件,例如光學衍射元件(DOE)。
主要特點及參數:
·支持8英寸(200mm)晶圓
·分辨率可達40nm(取決于模版和工藝條件)
·專有的適用于SmartNIL的多用途聚合物軟板技術
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