產品簡介:
EVG HerculesNIL是一款集成了晶圓清洗、涂膠、烘烤、冷卻等工藝的全自動大型紫外納米壓印工藝平臺,應用于AR/VR中的光學設備、3D傳感器、生物醫療設備、納米光學和等離子學研究。
主要特點及參數:
·支持12英寸(300mm)晶圓
·支持包括3D在內的各種結構尺寸形狀
·可做200mm和300mm晶圓的橋接
·分辨率可達40nm(取決于模版和工藝條件)
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EVG HerculesNIL是一款集成了晶圓清洗、涂膠、烘烤、冷卻等工藝的全自動大型紫外納米壓印工藝平臺,應用于AR/VR中的光學設備、3D傳感器、生物醫療設備、納米光學和等離子學研究。
主要特點及參數:
·支持12英寸(300mm)晶圓
·支持包括3D在內的各種結構尺寸形狀
·可做200mm和300mm晶圓的橋接
·分辨率可達40nm(取決于模版和工藝條件)
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