產品簡介:
EVG 520 HE是一款基于EVG520設備的半自動熱壓印設備,適用于所有聚合物,可應用于高質量的納米圖形轉移。相比EVG 510 HE可提供更大的壓力。
主要特點及參數:
·支持8英寸(200mm)晶圓
·自動壓印并具有氣動脫模功能
·壓力:100KN
·溫度:350℃(可選配至550℃)
·真空度:0.1mbar(可選配至10-5mbar)
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EVG 520 HE是一款基于EVG520設備的半自動熱壓印設備,適用于所有聚合物,可應用于高質量的納米圖形轉移。相比EVG 510 HE可提供更大的壓力。
主要特點及參數:
·支持8英寸(200mm)晶圓
·自動壓印并具有氣動脫模功能
·壓力:100KN
·溫度:350℃(可選配至550℃)
·真空度:0.1mbar(可選配至10-5mbar)
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