產品簡介:
EVG 6200BA是一款自動量產型鍵合對準設備,采用雙面光學對準,擁有全自動高分辨率底部攝像頭,適合于EVG501、EVG510、EVG520鍵合機的鍵合對準。
主要特點及參數:
·支持8英寸(200mm)晶圓
·支持2層或3層晶圓堆疊對準
·對準精度:
底部對準精度≤±2μm 3σ
透明對準精度≤±1μm 3σ
·可選配紅外對準
·可升級至自動對準
產品簡介:
EVG 6200BA是一款自動量產型鍵合對準設備,采用雙面光學對準,擁有全自動高分辨率底部攝像頭,適合于EVG501、EVG510、EVG520鍵合機的鍵合對準。
主要特點及參數:
·支持8英寸(200mm)晶圓
·支持2層或3層晶圓堆疊對準
·對準精度:
底部對準精度≤±2μm 3σ
透明對準精度≤±1μm 3σ
·可選配紅外對準
·可升級至自動對準
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