產品簡介:
EVG SmartView NT是一款全自動量產型鍵合對準設備,適用于三維互連、晶圓級封裝、高產量MEMS,可以作為模塊集成在EVG560鍵合設備或者GEMINI平臺。
主要特點及參數:
·支持12英寸(300mm)晶圓
·支持2層或3層晶圓堆疊對準
·支持:面對面對準、背面對準、紅外對準和透明對準
·可升級至自動對準
產品簡介:
EVG SmartView NT是一款全自動量產型鍵合對準設備,適用于三維互連、晶圓級封裝、高產量MEMS,可以作為模塊集成在EVG560鍵合設備或者GEMINI平臺。
主要特點及參數:
·支持12英寸(300mm)晶圓
·支持2層或3層晶圓堆疊對準
·支持:面對面對準、背面對準、紅外對準和透明對準
·可升級至自動對準
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