產品簡介:
EVG 320是一款自動單晶圓清洗設備,采用兆聲清洗在鍵合前對晶圓表面做清洗,提高鍵合質量。
主要特點及參數:
·可適用于12寸(300mm)晶圓
·FOUP-to-FOUP或Cassette-to-Cassette全自動運行
·采用1MHz兆聲清洗頭,有效去除>1μm的顆粒
·最多可以配置4個清洗腔室
·機器人處理確保預對準精度
產品簡介:
EVG 320是一款自動單晶圓清洗設備,采用兆聲清洗在鍵合前對晶圓表面做清洗,提高鍵合質量。
主要特點及參數:
·可適用于12寸(300mm)晶圓
·FOUP-to-FOUP或Cassette-to-Cassette全自動運行
·采用1MHz兆聲清洗頭,有效去除>1μm的顆粒
·最多可以配置4個清洗腔室
·機器人處理確保預對準精度
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