高低溫控制真空探針臺(tái) *的承片臺(tái)X/Y/Z三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下調(diào)節(jié),其中X方向調(diào)節(jié)范圍:0-30mm;y方向調(diào)節(jié)范圍:0-13mm;z方向調(diào)節(jié)范圍:0-13mm;用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測的器件固定在加熱臺(tái)上,再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準(zhǔn)檢測點(diǎn)后,即可進(jìn)行檢測。
高低溫控制真空探針臺(tái) * | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
上蓋開啟 | 鉸鏈側(cè)開 |
內(nèi)腔體尺寸 | φ140x180 |
加熱臺(tái)材質(zhì) | 304不銹鋼 |
觀察窗尺寸 | φ75 |
加熱臺(tái)尺寸 | 50x50 |
加熱臺(tái)溫度 | 室溫-350℃可調(diào) |
加熱臺(tái)溫控誤差 | ±1℃ |
真空度 | 機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
真空抽氣口 | KF25 |
氣體進(jìn)氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
進(jìn)氣閥門 | 高精密針閥 |
抽氣閥門 | KF25真空擋板閥 |
壓力表 | 機(jī)械壓力表 -0.1-0.15mpa |
信號電極 | 4個(gè) |
探針數(shù)量 | 4個(gè) |
探針材質(zhì) | φ1.5鎢針 其他材質(zhì)可選 |
探針移動(dòng)平臺(tái) | |
X軸移動(dòng)行程 | 30mm ±15mm |
X軸控制精度 | ≤0.1MM |
Y軸移動(dòng)行程 | 13MM ±6.5mm |
Y軸控制精度 | ≤0.05MM |
Z軸移動(dòng)行程 | 13mm ±6.5mm |
Z軸控制精度 | ≤0.05MM |
信號電極 | |
電極芯 | 1芯 |
電極引出接頭 | BNC母頭 |
電極引出線 | 銅網(wǎng)信號屏蔽線 |
BNC引出接頭 | X4 |
額定電流 | ≤5A |
額定電壓 | ≤220V |
電極芯直徑 | φ1mm |
接觸電阻 | ≤5MΩ |
絕緣電阻 | ≥1000 MΩ |
外殼接地 | 是 |
電子顯微鏡 | |
電子顯微鏡根據(jù)客戶需要配置不同倍率 請和客服溝通 |
做氣體傳感器的客戶可以選擇本公司的多通道智能氣體配比系統(tǒng)