應用:
· 過程監測
· 在線分析
· 污染物研究
· CVD / MOCVD
· 環境氣體分析
· 熱分析質譜
· 催化劑研究/ 反應動力學
主要特點:
· 高效、柔韌、加熱(直到200℃)石英惰性毛細管(QIC)
· QIC 直接進樣,對氣體、蒸氣的響應時間<500ms>500ms>
· 1~20 cm3 / min連續進樣
· 取樣壓力:10 mbar ~ 2 bar
· 高壓取樣接口至30 Bar
· 自動流量控制界面,以恒定離子源壓力
· 液氮低溫板,增強對可凝結的背景氣體的抽吸
· 靈敏度高 (至 5 ppb), 質量數至510 amu
· 軟離子化技術,分析復雜有機物
· 穩定性(24h以上,峰高變化小于±0.5% )
· 通過RS232、RS485或以太網,軟件 MASsoft 控制
· 定量分析方法