簡介
混合氣體配比氣體混配器流量流量配比主要用于氣體流量測試,并按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營造特定要求的氣氛環境.
該 混合氣體配比氣體混配器流量流量配比可以外接3種氣體,采用質子型流量計,氣路管道采用304拋光管制作耐腐蝕性強.氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.
用途
1.半導體制造行業中氣體流量控制
2.各種真空鍍膜設備
3.特種材料表面處理
4.氣體燃燒控制
5.混和配氣系統
6.泄漏探測系統
7.環境檢測與分析設備
8.分析儀器的氣體流量計量與控制
9.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要氣體檢測和控制的場所
技術參數
產品型號 | KT-C3Z |
產品類型 | 智能控制 觸摸屏控制 |
流量量程 | 2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm, 1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
流量控制方式 | 觸摸屏設定流量 |
時間設定 | 0-99999 |
數據導出 | 有 |
程序控制 | 無 （可根據要求寫程序) |
壓力顯示 | 無 (可根據需求添加) |
耐壓 | 3MPa |
密封材料 | 金屬密封 Metal |
輸入輸出信號 | (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA, |
電源 | ±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC |
閥類型 | 常開或常閉 |
溫度系數 | Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃ |
零點飄移指標 | ＜0.6%F.S. per year without autozero |
電氣連接 | Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male |
工作壓差范圍 | (0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm） |
漏率 | 1×10-10atm•cc / sec He（1×10-11 Pa•m3 / sec He） |
標準接頭形式 | 雙卡套1/4”(滿量程≤30slm),雙卡套Φ3 (僅適用于滿量程≤5slm產品),雙卡套Φ6(僅適用于滿量程≤30slm產品),VCR1/4”,IGS W型,IGS C型 |
表面化學成分 | CrO thickness ＞20 Angstroms |
表面粗糙度 | 20µinch |
抗電磁干擾 | CE |
重量 | 16KG |
