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廣電計量檢測集團股份有限公司

PECVD射頻模塊

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱鄭州科探儀器設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2024/4/23 16:40:15
  • 訪問次數107
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鄭州科探儀器設備有限公司是集開發、制造、經營為一體的材料設備創新型企業,如今公司的產品已經遍布國內大多數實驗室 ,科探儀器已經成為老師 同學和信任的品牌。   公司以科技創新為主,服務社會為宗旨,積極設計開發新型材料制備設備,奉獻于教育和科學,經過長期的研發和不斷地技術積累,擁有熱工,制造,控制相關技術項為化學,物理,材料,電子,高分子工程,新材料制備和研發領域的科學研究提供了精良設備。公司通過和院校老師 同學強強聯合,形成了有效的信息,技術交流平臺,為科探儀器了解市場需求提供了強有力的支持!


    目前公司已研發生產產品十多個系列幾十款產品,產品囊括實驗電爐   CVD供氣系統   等離子清洗機   小型離子濺射儀   小型蒸鍍儀  石英管真空封口 真空探針臺  半導體等。 主要適用于科研院校及工礦企業在新材料、新能源等領域物理特性及化學特性的研究,廣銷于各大院校,及材料研究所。


    公司與國內高校,科研院所有多層次的合作關系,建有開放實驗室,相關領域的教授、工程師、博士參與公司產品的研究和開發。我們秉承公司的發展理念,依靠嚴謹的技術研發能力,科學合理的生產工藝,精益求精的制造要求,全心全意做好產品質量和服務工作,科探儀器時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。


小型濺射儀,小型蒸鍍儀,真空試管封口機,真空探針臺,等離子清洗機,真空加熱腔
簡要描述:PECVD射頻模塊通過反應氣態放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優點,工藝流程簡單,與傳統CVD系統比較,生長溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。
PECVD射頻模塊 產品信息

     KT-PE500ZPECVD射頻模塊是借助于輝光放電等方法產生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應,從而實現薄膜材料生長的一種新的制備技術。通過反應氣態放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優點,工藝流程簡單,與傳統CVD系統比較,生長溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。

PECVD射頻模塊產品參數:

型號

KT-PE150S

KT-PE500Z

信號頻率

13.56MHz±0.005%


功率輸出范圍

0-150W

0-500W

功率穩定度

≤5W


大反射功率

40W


射頻輸出接口

7/16,female  50 Ω


功率穩定度

≤5W


匹配方式

手動調節匹配

500W自動匹配

耦合方式

電感式耦合


輝光壓力

≤30Pa


供電電壓

50/60Hz 220v±10%


整機效率

≥70%


冷卻方式

強制風冷


支持爐管直徑

φ25-φ80

φ25-φ150

感應區

210mm


整機重量

48KG


整機尺寸:H x W x D(mm)

600 x 600x 1100


15168338725
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