APK6100E半導體行業超高純(特種)氣體稀釋系統，是一款具有高精度高稀釋比的升級產品，可配制五種標氣的混合氣(可定制),稀釋比可達到1:10000，二級稀釋，高精度，帶有加濕功能，可用于傳感器生產商，半導體生產商的產品測試及科研院所的科學研究。可根據用戶要求定制。

特點：

苯系物BTEX，PAMS，硫化物，TO-15，HCHO，SO2，N2O，NO2以及其他;

帶有加濕功能，可控制稀釋后氣體濕度

高精度質量流量計（MFC），配制氣體濃度精準

可選配液體標樣稀釋模塊

應用：

傳感器生產商

半導體生產商

科研院所

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■可配置液體或氣體樣品；

■可實現標樣加濕功能；

■兩級高精度MFC控制；

■稀釋比高；

■全自動運行，直接讀取濃度，ppm，ppb或ppt；

■可針對不同用戶的稀釋要求定制產品。