Verios XHR SEM

 

Verios 是 FEI 的 XHR（高分辨率）SEM 系列的第二代產(chǎn)品。在半導(dǎo)體制造和材料科學(xué)應(yīng)用中，它可在 1 至 30 kV 范圍內(nèi)提供亞納米量級(jí)分辨率以及增強(qiáng)的對(duì)比度，滿足材料精密測(cè)量所需，同時(shí)又不會(huì)削弱傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡 (SEM) 所具有的高吞吐量、分析能力、樣本靈活性和易用性等優(yōu)勢(shì)。

 

Verios 的材料科學(xué)應(yīng)用

 

對(duì)材料科學(xué)家來說，Verios 可以將亞納米表征拓展到當(dāng)下正在開發(fā)的全新材料（例如催化劑顆粒、納米管、孔隙、界面、生物對(duì)象和其他納米量級(jí)結(jié)構(gòu)），從而讓他們獲得重要的新發(fā)現(xiàn)。無需轉(zhuǎn)而采用 TEM 或其他成像技術(shù)便可獲得高分辨率、高對(duì)比度圖像。Verios 可靈活用于各類研究應(yīng)用，能夠容納全尺寸晶圓或冶金樣本之類的大樣本。您可以在高電流模式下執(zhí)行快速分析，也可以開展精確的原型設(shè)計(jì)應(yīng)用，例如電子束感應(yīng)式材料直接沉積或光刻。

 

出色的低電壓 SEM 分辨率和材料對(duì)比度

 

Verios 旨在增加您實(shí)驗(yàn)室的可發(fā)表成果。Verios 可以將 500 eV 到 30 keV 完整能量范圍內(nèi)的亞納米級(jí)分辨率擴(kuò)展到新型材料（例如催化劑顆粒、納米管、孔隙、界面、生物對(duì)象和其他納米量級(jí)結(jié)構(gòu)）。無需轉(zhuǎn)而采用 TEM 或其他成像技術(shù)便可獲得高分辨率、高對(duì)比度圖像。Verios 可靈活運(yùn)用于各類研究應(yīng)用，能夠容納全尺寸晶圓或冶金樣品之類的大樣品。您可以在高電流模式下執(zhí)行快速分析，也可以開展精確的原型設(shè)計(jì)應(yīng)用，例如電子束感應(yīng)式材料直接沉積或光刻。

 

探索高分辨率 SEM 呈現(xiàn)的世界 

Verios 是 FEI 的 XHR SEM 系列的第二代產(chǎn)品，通過 1 到 30 kV 能量范圍的亞納米級(jí)分辨率來提供準(zhǔn)確成像。它能夠在多種應(yīng)用領(lǐng)域內(nèi)提供精確測(cè)量材料所需的出色對(duì)比度，而不影響高通量、分析功能、樣品靈活性和傳統(tǒng) SEM 的易用性。Verios 具備技術(shù)，例如可提高熱穩(wěn)定性的恒功率鏡頭以及可提高偏轉(zhuǎn)線性的靜電掃描。在選擇參數(shù)、處理大樣品或支持更多應(yīng)用（如分析或光刻）方面，它非常靈活。借助 Verios XHR SEM，無論是臨時(shí)用戶還是專家，都能在短時(shí)間內(nèi)獲得準(zhǔn)確、完整的納米量級(jí)數(shù)據(jù)，發(fā)現(xiàn)以前使用其他技術(shù)時(shí)無法獲得的信息。