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主動隔振系統(電子顯微鏡、半導體設備專用)

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海良允科學儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號αL4X-911R
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2024/4/20 12:04:13
  • 訪問次數177
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上海良允科學儀器有限公司(簡稱“良允科儀”)是一家專業從事*光電儀器研發、生產、銷售及引進國外光電產品的高科技技術企業。主要提供的光電產品有:科研級隔振光學平臺、拉曼光譜儀、各類光譜系統、激光/激光量測產品、科研相機/探測器、運動控制及光機械產品、太陽能電池測試設備等。 我們一直秉承以用戶需求為核心,在專注科研級光學平臺、拉曼光譜等核心技術市場的同時,已經為超過一百家高校科研院所及工業客戶提供了成套和部分的解決方案&服務,專業、用心的服務贏得了眾多用戶的信賴和好評。 我們的宗旨是“快速響應、謀求合作,一次合作,終生朋友”!以“專注質量、用心服務”為核心價值,為用戶提供專業、可靠的技術方案及優質的售后服務。 除了自主品牌的光學平臺外,公司代理的品牌有:德國WITec、美國Newport、英國Andor、日本Jasco、美國ASI、美國EmVision、美國Photon Systems、美國IPS、日本TOKKYOKIKI、中國Time-Tech Spectra等。
日本特許機器株式會社(TOKKYOKIKI)成立于1969年,是世界防振、消磁產品的制造商,一臺主動式除振裝置實用機由TOKKYOKIKI于1988年在日本半導體展示會上推出,TOKKYOKIKI一直致力研究,精密穩定,堅固耐用的防振產品、振動分析儀器和各行業防振設備,以滿足各領域不同產業的不同需求
主動隔振系統(電子顯微鏡、半導體設備專用) 產品信息

日本特許機器株式會社(TOKKYOKIKI)成立于1969年,是世界防振、消磁產品的制造商,一臺主動式除振裝置實用機由TOKKYOKIKI于1988年在日本半導體展示會上推出,TOKKYOKIKI一直致力研究,精密穩定,堅固耐用的防振產品、振動分析儀器和各行業防振設備,以滿足各領域不同產業的不同需求。

αL4X-911R1主動式隔振平臺是結合了空壓(低頻)和線性馬達(高頻)的兩種優點,專為掃描電子顯微鏡而設計的高精密隔振平臺。

本主動隔振系統可將影響儀器設備正常工作的安裝場地的細微振動,在所有頻率范圍內予以全面衰減而不降低儀器設備本身具有的各項性能。


αL4X-911R1的基本原理和功能

利用加速度傳感器檢測地板的振動,通過6自由度的反饋及前饋控制的雙重主動控制,由氣動和線性馬達執行器來實現振動衰減,消除影響電子顯微鏡正常工作的安裝場地的細微振動,滿足電子顯微鏡廠商提供的允許振動值。

技術參數:

名稱

技術參數和指標

主動隔振平臺

標準外形尺寸:902×1102×152(浮起時155)mm

其他尺寸可定制

主動隔振單元

內含加速度傳感器,位移傳感器及空氣伺服閥。

隔振范圍

0.5Hz~100Hz

隔振效果(值)

0.5Hz~1Hz:≤-20dB

1Hz~10Hz:-20dB ≤-40dB

10Hz以上:≥ -40dB

加速度傳感器

頻率范圍:DC-400Hz

最小分辨率:≤1*10-6m/sec2

耐沖擊參數:1000m/sec2

位移傳感器

最小分辨率:≤3um

行程范圍:1-5mm

控制器

輸入/輸出控制信號采樣頻率

加速度:2000Hz 位移:125Hz

分辨率 輸入:18bit 輸出:16bit


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