真空手動(dòng)多功能微型探針臺(tái)腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機(jī)械泵可達(dá)＜5Pa分子泵可達(dá)＜-3Pa。真空信號(hào)連接處使用高級(jí)真空電極信號(hào)接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測(cè)的器件方在加熱臺(tái)面，探針尖處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)至被測(cè)試器件的引腳處，外部信號(hào)線連接測(cè)試儀器來(lái)測(cè)試電學(xué)信號(hào)
真空手動(dòng)多功能微型探針臺(tái)真空信號(hào)連接處使用高級(jí)真空電極信號(hào)接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測(cè)的器件方在加熱臺(tái)面，探針尖處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)至被測(cè)試器件的引腳處，外部信號(hào)線連接測(cè)試儀器來(lái)測(cè)試電學(xué)信號(hào)。
* 溫度可控，可控精度<0.1℃
* 真空度10-3至10-5Torr
* 防震動(dòng)設(shè)計(jì)
* 測(cè)量范圍DC至67 GHz
* 多可容納100毫米晶圓
* 可配置多達(dá)四個(gè)微操縱探針臂（波紋管）
* 探針座微操作器行程±12mm
* 電纜線屏蔽、電氣噪聲、熱輻射損失降到低
* 可預(yù)留不同尺寸接口以備充入其它氣體使用
* 可預(yù)留接口以備安裝電子閥及流量計(jì)之用
* 顯微鏡觀察系統(tǒng)可選
目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個(gè)系列幾十款產(chǎn)品，產(chǎn)品囊括實(shí)驗(yàn)電爐 CVD供氣系統(tǒng) 等離子清洗機(jī) 小型離子濺射儀 小型蒸鍍儀 石英管真空封口 半導(dǎo)體檢測(cè)等。 主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究，廣銷于各大院校，及材料研究所。
公司與國(guó)內(nèi)高校，科研院所有多層次的合作關(guān)系，建有開放實(shí)驗(yàn)室，相關(guān)領(lǐng)域的教授、高級(jí)工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念，依靠嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力，科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝，精益求精的制造要求，全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作，科探儀器時(shí)刻懷著一顆真誠(chéng)的心期待與您的合作。
