H400V-MPS 真空小型臺式探針臺系列是可從外部移動探針進行點針的桌上型探針臺，可以在達到設定溫度后通過外部移動進行點針，避免了先點針后變溫因熱脹冷縮效應造成的漂移現象。該探針臺涵蓋多型號、多溫度范圍。同時允許溫控、探針電測試、光學觀察和樣品氣體環境控制。探針臺上蓋與底殼構成一個可抽真空的密封腔，亦可內充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結霜，或高溫下氧化。

溫控參數：

溫度范圍：-190℃~400℃ （30℃~1000℃可選 ）

加熱塊材質：銀

傳感器/溫控方式：100Ω鉑RTD / PID控制（含LVDC降噪電源）

升溫速率：30℃/min（@100℃）

溫控速度：±0.01℃/min

溫度分辨率：0.01℃ RTD傳感器

溫度穩定性：±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）

軟件功能：可設溫控速率，可設溫控程序，可記錄溫控曲線

電學參數：

探針：默認為錸鎢材質的彎針探針

探針座：可從外部XYZ移動的探針臂

粗調模式+微調模式

點針：從外部移動點針，每個探針座都可點到樣品區上任意位置

探針接口：默認為BNC接頭，可選三同軸接口

樣品臺面電位：默認為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口

光學參數：

適用光路：反射光路

窗片：可拆卸與更替的窗片

物鏡工作距離：8mm，12mm 可選

上蓋窗片觀察：窗片范圍φ50mm，視角±50°

負溫下窗片除霜：吹氣除霜管路

結構參數：

加熱區/樣品區直徑：30 mm，（50mm可選）

樣品腔高：6.3mm

探針座：可從外部XYZ移動的探針臂

粗調模式+微調模式，XY粗調20mm

XY微調行程10mm，Z微調 3mm，調節精度10μm

氣氛控制：真空腔，也可充入保護氣體

外殼冷卻：可通循環水，以維持外殼溫度在常溫附近

臺體尺寸/重量：300mm x 300mm x 40 mm / 4kg

※ 可直接固定在WITec拉曼光譜儀上實現高低溫光電流成像及原位高低溫拉曼成像。

典型應用：

微區光電流測試，表征薄膜、二維材料、納米材料和分子/有機材料器件的電性能測試

晶圓、半導體器件、集成電路、印刷電路板、光伏板、LCD/LED測試...

湖南大學測試中心——結合WITec拉曼光譜儀實現微區光電流成像及變溫拉曼成像