在線橢偏儀儀器介紹
在鍍膜或刻蝕的過程中,實時監測樣品膜的膜厚以及光學常數(n,k)變化。
在線橢偏儀技術參數
·可實現快速、實時在線監測樣品膜層變化
主要特點
將激發和探測頭引入生產設備,可實現:
· 動態模式:實時監測膜厚變化
· 光譜模式:監測薄膜的界面和組分
HORIBA 科學儀器事業部(HORIBA Scientific)隸屬 HORIBA 集團,致力于為用戶提供*的檢測和分析儀器:包括元素分析、熒光、刑偵、ICP、粒度表征、激光拉曼光譜、橢圓偏振光譜、油中硫分析、水質和XRF等分析儀器。
結合旗下的技術優勢,包括擁有200多年發展歷史的光譜制造技術Jobin Yvon,以及擁有*技術優勢的IBH, SPEX, Instruments S.A, ISA, Dilor, Sofie, SLM以及 Beta Scientific等。今天,HORIBA Scientific 的各種檢測分析儀器已經遍布各地,并在中國實現了銷售和服務的本土化,位于上海、北京、廣州三地的產品專家、售后服務團隊以及全國各地的代理商機構可充分保障國內用戶的技術咨詢以及售后服務需求。
HORIBA歐洲總部 自從1988年合并了美國SPEX公司和1995年合并了法國Dilor,Sofie等公司后,Jobin Yvon公司于1997年加入了世界第六大儀器制造集團――HORIBA公司,完成了公司強強聯手。如今Jobin Yvon在法國、美國、日本、英國、意大利、荷蘭設有生產廠家,其分支機構遍布。現在Jobin Yvon公司除了提供各種類型的衍射光柵和離子刻蝕全息光柵外,還提供各種類型的光譜儀產品,如:激光拉曼光譜儀(Raman),熒光(壽命)光譜儀(FL),直讀火花光譜儀(SPARK),電感耦合等離子發射光譜儀(ICP),輝光放電光譜儀(GDS),橢圓偏振光譜儀(Ellipsometry),特殊搭建系統(System)及各種光學光譜器件(成像光譜儀,光源,IR檢測器,CCD檢測器等)。 目前,HORIBA Jobin Yvon公司設立了薄膜部、拉曼(光譜儀)部、發射(光譜儀)部、熒光(光譜儀)部、法醫部、光學儀器部、光柵&OEM儀器部等7個部門。旨在為您提供強大的技術支持與科研保障!
在線橢偏儀 產品信息
關鍵詞:橢偏儀