1． 技術參數(shù)
l UV光源：進口LED模塊
l 曝光中心波長：365nm
l 光源平行性：2o
l ★曝光分辨率：0.8um-1um
l 曝光能量密度：>35mW/cm2可調
l 照度不均勻性：≤2.5%(∮150mm范圍)
l ★曝光面積：160mm*160mm
l 光源壽命：2萬小時
l 曝光設定：定時
l 曝光頭工作模式：曝光位對準位自動切換（前后移動）
l 套準精度：±0.8-1 um
l 可執(zhí)行曝光模式：真空接觸、硬接觸、壓力接觸、接近式，
l 間隙設定方式：數(shù)字設定曝光間隙，自動分離和消除間隙
l 樣片、掩模版相對移動范圍：X: ±5mm， Y: ±5mm， θ=±6o
l 掩模版找平方式：球氣浮自動找平
l 可支持掩模版尺寸： 3″×3″、4″×4″、5″×5″、7″×7″ 各一件
l 標配承片臺 ： 2英寸、3英寸、4英寸、6英寸
l 標準配件可兼容樣片厚度：0.1-6mm，其他尺寸可定制
l 可設計工作厚度：50mm
l ★雙目雙視場對準顯微鏡或者光學鏡頭+CCD+顯示器：可通過目鏡目視對準，也可通過CCD+顯示器對準，光學合像，光學倍數(shù)400倍，光學+電子放大800倍，物鏡三對：4倍、10倍、20倍，目鏡三對：10倍、16倍、20倍
l 雙物鏡可調距離范圍：30mm-120mm
l ★顯微掃描范圍：Y:±40mm（電動，數(shù)字設定）
設備尺寸：≤700mm
