一種圖形發生器，用于電子束、離子

束等帶電粒子的曝光機，屬于曝光機的圖形

發生器硬件。本實用新型提供一種運算速度

快、接口簡單、功耗低、功能多樣的曝光機

用的圖形發生器，它以高速數字信號處理器

為核心，通過通用串行總線接口 和上位機實現通訊，該圖形發生器不僅可以滿足以三角形，矩形和梯形為基本曝光單元圖形的曝光格式，而且 增加了圓及圓環為具本曝光單元圖形，解決了集成光柵器件加工在速度度和精度上存在的缺陷。本實用新型由接口電路、雙端口存儲器電路、數學信號處理器電路、數模轉換電路、曝光標記檢測控制電路、標記檢測電路、最終曝光數據寄存器單元和束閘控制電路相互連接構。

曝光精度：100納米