超高分辨熱場發射掃描電子顯微鏡JSM-7600F是日本電子株式會社2008年下半年推出的兼顧冷場的高分辨率和熱場大束流為一體的熱場發射掃描電鏡，它幾乎集成了當今掃描電鏡的全部前沿技術，200nA的大電流在保證高分辨率的同時，得到高速樣品分析結果，空間分辨率，對導電性差的樣品也有很多解決辦法。JSM-7600F自動化程度高，操作直觀方便，可以稱得上是一款高檔次的場發射掃描電鏡。
超高分辨熱場發射掃描電子顯微鏡JSM-7600F主要特點
1.主動式減震器
2.磁懸浮分子泵系統，無需UPS保護
3.標配的五軸馬達驅動全對中樣品臺
4.全自動樣品更換氣鎖
5.全自動樣品監控系統
6.全自動物鏡光闌
7.多通道顯示系統
8.減速系統標準配置
9.能量過濾器標準配置
10.可以選配1.5nm高分辨LABE背散射電子探頭
11.可以選配掃描投射探頭（STEM）
高分辨熱場發射掃描電子顯微鏡JSM-7600F技術參數
| SEI 分辨率 | 1.5 nm（1 kV）（在GB 模式下），1.0 nm（15 kV） | ||||||||||||||||||||
| 放大倍數 | 25 到 1,000,000x | ||||||||||||||||||||
| 加速電壓 | 0.1 到 30 kV | ||||||||||||||||||||
| 束流 | 1 pA 到 200 nA（15 kV時） | ||||||||||||||||||||
| 光闌角控制鏡 | 內置 | ||||||||||||||||||||
| 探測器 | 上方和下方探測器 | ||||||||||||||||||||
| 能量過濾器 | 新 γ過濾器 | ||||||||||||||||||||
| 柔和光束 | 內置 | ||||||||||||||||||||
| 數字圖像 | 1,280 x 960，2,560 x 1，920, 5,120 x 3,840 | ||||||||||||||||||||
| 樣品交換室 | 單步加載/卸載 | ||||||||||||||||||||
| 樣品臺 | 全對中，5軸馬達驅動 | ||||||||||||||||||||
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| 真空系統 | 2 SIPs，磁懸浮軸承 TMP、RP | ||||||||||||||||||||
| 節能設計 | 正常運行：1.2 kVA | ||||||||||||||||||||
