分析潛力
- 高亮度肖特基發(fā)射可獲得高分辨率,高電流和低噪聲的圖像
- 選配的In-Beam二次電子探頭可獲取超高分辨率圖像
- 三透鏡大視野觀察(Wide Field Optics™)設(shè)計(jì)提供了多種工作模式和顯示模式,體現(xiàn)了TESCAN可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計(jì)
- 結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計(jì)軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing™)可模擬和進(jìn)行束斑優(yōu)化
- 成像速度快
- 低電壓下的電子束減速模式(Beam Deceleration Technology – BDT)可獲取高分辨率圖像(選配)
- In-Beam背散射電子探頭,用于在小工作距離下得BSE圖像(選配),甚至適合鐵磁性樣品
- 全計(jì)算機(jī)化優(yōu)中心電動載臺設(shè)計(jì)優(yōu)化了樣品操控
- 的幾何設(shè)計(jì)更適合安裝能譜儀(EDX)、波譜儀(WDX)、背散射電子衍射儀(EBSD)
- 由于使用了強(qiáng)力的渦淪分子泵和干式前置真空泵,因而可以很快達(dá)到電鏡的工作真空。電子槍的真空由離子泵維持。
- 自動的電子光路設(shè)置和合軸
- 網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置的遠(yuǎn)程控制/診斷軟件
- 3維電子束技術(shù)提供實(shí)時(shí)立體圖像
- 低真空模式下樣品室真空可達(dá)到500Pa用于觀測不導(dǎo)電樣品
- 的離子差異泵(2個離子泵)使得離子散射效應(yīng)超低
- 聚焦離子束鏡筒內(nèi)有馬達(dá)驅(qū)動高重復(fù)性光闌轉(zhuǎn)換器
- 聚焦離子束的標(biāo)配包括了電子束遮沒裝置和法拉第筒
- 高束流下超高的銑削速度和的性能
- FIB切割、信號采集、3維重構(gòu)(斷層攝影術(shù)),3D EBSD、3D EBIC與集成3維可視化
- 成熟的SEM/FIB/GIS操作軟件,圖像采集、存檔、處理和分析功能