分析潛力
- XM樣品室配置5軸馬達驅動全計算機化優中心樣品臺，的幾何設計更適合安裝能譜儀（EDS）、波譜儀（WDX）、電子背散射衍射（EBSD）
- 超大樣品室配備有大型樣品臺，可以容納更大的樣品
- 優化的幾何設計的允許更多的接口，更適合安裝能譜儀（EDS）、波譜儀（WDX）、電子背散射衍射（EBSD）和其他探頭
- YAG閃爍器式探頭
- 可選各種探頭和配件
- 幾分鐘即可抽到儀器需要的工作真空
- 在低真空模式下可以觀測不導電的樣品，觀測磁性樣品的效果非常好，EBSD圖像無扭曲
- 內置主動式樣品室防振
LYRA3配置
LYRA3 XMH
配有5軸馬達驅動全計算機化優中心樣品臺的超大樣品室型號，適用于在高真空模式下分析導電的樣品。
LYRA3 XMU
可變真空型掃描電鏡，體現了高真空模式和低真空模式的優點，可以在不噴金的情況下利用低真空模式直接觀察不導電樣品。
