最重要的特性：
u 具有非凡分辨率的單極60度角物鏡；
u Field Free模式用于磁性樣品的觀察；
u 高亮度肖特基電子槍可得到高分辨率/高束流/低噪聲的圖像；
u 鏡筒中的In-Beam二次電子探測器用于小工作距離條件下二次電子的檢測；
u In-Beam背散射電子探測器用于小工作距離的背散射電子成像；
u 高通量大面積自動化，例如自動顆粒分布和分析；
u 計算機優化、馬達驅動的樣品臺；
u 利于EDX、EBSD分析的理想幾何設計；
u 完善的軟件用于SEM控制，圖像采集、存檔、處理和分析；多用戶多語言操作界面；
u 網絡操作和內置的遠程控制/診斷是TESCAN的標準配置；
u 的3維電子束技術用于獲得實時立體圖像。
MAIA3 配置
MAIA3 XMH
大樣品室高真空式電鏡，配備有可選的馬達驅動樣品臺，適合觀測導電的樣品。
MAIA3 XMU
可變真空式SEM，體現了高真空模式和低真空模式的優點。在低真空模式下可以觀測不導電的樣品，不需要噴金。
