分析潛力
- XM樣品室配備有5軸馬達驅動的全計算機化優中心樣品臺,的幾何設計更適合安裝能譜儀(EDS)、波譜儀(WDX)、電子背散射衍射(EBSD)
- 優化幾何設計的許多接口,更適合安裝能譜儀(EDS)、波譜儀(WDX)、電子背散射衍射(EBSD)和其他探頭
- YAG閃爍器式探頭
- 可選各種探頭和配件
- 在渦輪分子泵和無油干式泵的工作下,幾分鐘就可以達到儀器工作需要的真空,電子槍的真空度由離子泵保持
- 在低真空模式下可以觀測不導電的樣品,觀測磁性樣品的效果非常好
- 可選樣品室大小與鏡筒防振方式
MIRA3配置
MIRA3 XMH
大樣品室高真空式電鏡,配備有可選的馬達驅動樣品臺,適合觀測導電的樣品。
MIRA3 XMU
可變真空式SEM,體現了高真空模式和低真空模式的優點。在低真空模式下可以觀測不導電的樣品,不需要噴金。