分析潛力
- GM樣品室配備有5軸馬達驅動樣品臺
- 多于20個接口，優化的幾何設計更適合安裝能譜儀（EDS）、波譜儀（WDX）、電子背散射衍射（EBSD）
- YAG閃爍器式探頭
- 可選各種探頭和配件
- 渦輪分子泵和機械泵同時工作，幾分鐘即可達到儀器操作需要的真空狀態
- 在可變真空模式下可觀測不導電的樣品（XMU型號）
- 可選樣品室減振方式
- 3維Metrology軟件提供了三維重構與3維測量功能
VEGA3配置
GM型號適合觀測大樣品。
VEGA3 GMH
超大樣品室，高真空模式，適用于觀測大型導電材料。
VEGA3 GMU
可變真空式掃描電鏡，體現了高真空模式和低真空模式的優點。在低真空模式下可以觀測不導電的樣品，不需要噴金。
