創(chuàng)新的電子光學鏡筒,使電鏡擁有更加出色的超高分辨率
TESCAN S8000配置了的BrightBeam™鏡筒,實現(xiàn)了無磁場超高分辨成像,可以的實現(xiàn)各種分析,包括磁性樣品的分析。
新型鏡筒中的電子光路設(shè)計增強了低能量電子成像分辨率,特別適合對電子束敏感樣品和不導(dǎo)電樣品的分析。
另外,EquiPower™透鏡技術(shù)可有效減少能量損耗并保證電子鏡筒的穩(wěn)定性。
BrightBeam™電子光學鏡筒及探測器系統(tǒng)
(A)Axial detector (In-Beam)
(B)Multidetector (In-Beam)
(C)E-T detector (In-Chamber)
(D)Retractable BSE (In-Chamber)
配備的多種探測器,更好的表面靈敏度和對比度
S8000可配置的多種探測器,包括透鏡內(nèi)Axial detector 以及 Multidetector,
可選擇不同角度和不同能量來收集信號,體現(xiàn)更多種類的信息,同時獲得更好的表面靈敏度和對比度。
S8000 FE-SEM的優(yōu)點:
- 新一代鏡筒內(nèi)電子加速、減速技術(shù),保證了復(fù)雜樣品的低電壓高分辨觀測能力
- 配置的靜電-電磁復(fù)合物鏡,物鏡無磁場外泄,實現(xiàn)磁性樣品高分辨成像及分析
- 配置4個新一代探測器,可實現(xiàn)9種圖像觀測,對樣品信息的采集更加全面
- 配置大型樣品室,有超過20個擴展接口,為原位觀測、分析創(chuàng)造了良好的工作環(huán)境
- 可以配置TESCAN自有或第三方的多種擴展分析附件,如EDS、EBSD、CL、EBL,并實現(xiàn)與Raman聯(lián)用