C60-20S是一種高性能離子束，設計用于濺射表面，具有 小的損傷和減少的沿周濺射效應。 C60-20S在高達20 kV的電壓下工作，可有效地濺射材 料，且損傷 小，無需重新沉積碳。 C60是XPS、AES和SIMS的理想升級組件，可在多種材料 上均勻濺射。 

聚合物的高速、低化學損傷蝕刻。

 C60離子濺射的速度比單原子束(包括氬和氙)快50倍，同時 對底層材料造成的損害要小得多。 下圖比較了15kev的C60濺射產率與15kev金、氙鎵和氬的 TRIM數據。在相反的例子中，用C60和單原子氬離子束濺 射清洗PTFE薄膜。 雖然兩種離子束都去除了表面污染，但只有C60離子束的表 面化學性質沒有發生變化。