SEM掃描電鏡電源 高穩定性35kV高壓電源

用于掃描電子顯微鏡（SEM）的高可靠、高穩定性電源，具有內置靈活性，可適應各種肖特基發射電子槍配置。HiTek Power EG353系列標配Advanced Energy的直接驅動數字控制（D3C），通過直觀的GUI實現廣泛的操作和診斷功能。D3C在使用更小體積的同時提高了MTBF和可靠性。

產品亮點

低紋波和高穩定性電源，分辨率可達-1 nm

體積更小的模塊或19英寸機架安裝選項提供了安裝靈活性

AE的直接驅動數字控制（D3C）技術實現了可靠性和性能

更高的效率、更一致的操作、對組件更改的低差異、更高的可靠性和更容易的測試

低紋波（<1.6ppm，加速器）和高穩定性（<10ppm，加速器）

可以增加額外的接地輸出，以獲得更大的靈活性

易于使用的數字控制和監控減少了設置和配置時間（光纖隔離RS-232）

可根據要求提供客戶定義的衍生產品和連接選項

典型應用

使用具有LaB6或CeB6陰極的肖特基發射電子槍的SEM和電子顯微鏡

分辨率通常在>1到<20 nm之間的系統

輸出電壓

加速器：-30 kV，200μA（-35 kV用于調節）

提取器：+10 kV，400μA

抑制器：-1 kV，100μA

加熱器：+5 V，3 A

輸出功率

加速器：6 W

提取器：4 W

抑制器：0.1 W

加熱器：15 W

溫度系數

加速器：<25 ppm/oC

提取器：<25 ppm/oC

抑制器：<20 ppm/oC

加熱器：<100 ppm/oC