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SM-150 手動勻膠機

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱上海德竹芯源科技有限公司
品牌
型號SM-150
所在地上海
廠商性質(zhì)其他
更新時間2024/3/15 12:49:37
訪問次數(shù)215

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公司介紹主營產(chǎn)品

上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領(lǐng)域的設(shè)備銷售、系統(tǒng)集成、設(shè)備國產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線及晶圓FAB廠提供半導(dǎo)體工藝設(shè)備、檢測設(shè)備、封裝設(shè)備、測試設(shè)備。目前公司已成為國內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供半導(dǎo)體工藝、檢測、封裝、測試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復(fù)旦大學(xué)、上海微系統(tǒng)所等半導(dǎo)體相關(guān)專業(yè)博士，擁有一支經(jīng)驗豐富、技術(shù)過硬的團隊。能夠出色地完成售前售中、售后的服務(wù)。目前公司已與眾多國際半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根據(jù)用戶的科研方向和量產(chǎn)的器件類別提供相應(yīng)的全套設(shè)備選型和工藝整體解決方案。

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無線電綜合測試儀

產(chǎn)品簡介在線詢價

SM-150 是手動或半自動薄膜涂覆的優(yōu)選，適用于表面沒有或有非常低形貌的基板涂膠作業(yè)。大多光刻膠與涂層材料都可被均勻涂覆到尺寸為150 mm (6”)的晶圓或尺寸為127 × 127 mm (5” × 5”)的基板上。工藝腔設(shè)計可滿足直徑為176 mm。

SM-150 手動勻膠機產(chǎn)品信息

● SM 系列的優(yōu)點在于，具有高度涂膜均勻性和工藝重復(fù)性，且操作簡單、使用舒適。為了減少花費在工藝腔清潔上的精力，SAWATEC 公司開發(fā)了一種實用且經(jīng)濟的工藝腔保護碗。工藝結(jié)束后，可簡單地移除和清理這種保護碗。經(jīng)由如此的高品質(zhì)設(shè)計，也能將維護成本降低。因此，SAWATEC 勻膠機可被優(yōu)先應(yīng)用于實驗室、研發(fā)、試產(chǎn)項目及研究所。

● 該勻膠機可提供便攜桌上式和內(nèi)嵌式兩種方式。

產(chǎn)品功能

● 可編程，最多 50 個程序，適用于重復(fù)工藝的快速啟動功能

● 觸摸屏面板控制，方便用戶程序配置

● 工藝參數(shù)：轉(zhuǎn)速、加速度、工藝時間

● 旋轉(zhuǎn)方向可選（順時針、逆時針）

● 手動裝卸基板

● 通過具有安全保護的真空系統(tǒng)進(jìn)行基板固定

● 手動蓋子帶有空氣入口和閉合安全保護

性能參數(shù)

● 轉(zhuǎn)速范圍：0 到 10,000rpm +/-1rpm

● 工藝時間最長為 2376 s

● 每個程序段的給膠時間為 99 s

附加功能（可選項）

● 半自動的管式給膠系統(tǒng)

● 工藝腔的手動氮氣凈化裝置

● 用于簡化操作的“啟動/停止”腳踏開關(guān)

● 經(jīng)陽極電鍍處理的鋁制工藝腔

● 鋁制或 PE（聚乙烯）材料制成的工藝腔保護碗

● 用于 SM-150 勻膠機的真空泵

● 晶圓定位器 2" – 6" (圓形)

旋轉(zhuǎn)卡盤分類

● 為了達(dá)成良好的涂覆效果，SAWATEC 提供了不同尺寸、材料和設(shè)計的旋轉(zhuǎn)卡盤。根據(jù)用途的不同，可使用單塊結(jié)構(gòu)或具有光學(xué)輔助置中功能的兩部分構(gòu)成的旋轉(zhuǎn)卡盤。為避免基板背面被弄臟，有時不僅要選擇好的旋轉(zhuǎn)卡盤尺寸，還要采用專門的卡盤設(shè)計。旋轉(zhuǎn)卡盤的更換過程非常簡單，不需要使用工具。