SLC-17系列產品都是17 mm寬,8.5 mm高。它們剛性非常好,非常適合穩定性和高精度為要務的微納位移系統。盡管它們的尺寸很小,用于微納位移任務的位置傳感器仍然可以集成到每個位移器中,而不影響位移器的外形尺寸。由于這種高集成度,SLC-1720-S是最小的的具有宏觀行程范圍的閉環納米位移器。
參數 | SLC-1720 | SLC-1730 | SLC-1740 | SLC-1750 | SLC-1760 | SLC-1770 | SLC-1780 |
行程 | 12mm | 21mm | 26mm | 31mm | 41mm | 46mm | 51mm |
開環 分辨率 | < 1 nm | ||||||
速度 | > 20 mm/s | ||||||
垂直負載 | 20N | 30N | |||||
體積 | 22x17 x8.5mm3 | 30x17x 8.5mm3 | 40x17 x8.5mm3 | 50x 17x8.5mm3 | 60x17 x8.5mm3 | 70x17 x8.5mm3 | 80x17 x8.5mm3 |
重量 | 13g | 20g | 26g | 32g | 38g | 45g | 51g |
可選閉環傳感器S | |||||||
傳感器 分辨率 | 1nm (MCS2) | ||||||
重復 精度 | ±25nm (MCS2) | ±30nm (MCS2) | ± 40nm (MCS2) | ± 50nm (MCS2) | ±60nm (MCS2) | ± 70nm (MCS2) | ± 80nm (MCS2) |
可選閉環傳感器L | |||||||
傳感器 分辨率 | 4nm (MCS2) 50 nm (HCU) | ||||||
重復 精度 | ±50nm (MCS2) ± 1 µm (H CU) | ±60nm (MCS2) ± 1µm (H CU) | ± 80 nm (MCS2) ± 1 µm (HCU) | ±100nm (MCS2) ± 1 µm (H CU) | ±120nm (MCS2) ±1µm (H CU) | ±140nm (MCS2) ± 1 µm (H CU) | ±160nm (MCS2) ± 1 µm (H CU) |