產(chǎn)品簡介: GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀, 可進(jìn)行金、鉑、銦、銀 等多種金屬的濺射鍍膜, 樣品直徑可達(dá) 50mm ,鍍膜厚度可達(dá) 300?, 特別適用于 SEM 樣品表面的鍍膜。 GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表,用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài); 特殊設(shè)計的鐘罩邊緣橡膠密封圈, 可保證長期使用不會出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn) 象; 陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用。 GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀體積小, 操作簡單,適合用于實驗室中對小樣品的鍍膜使用。
產(chǎn)品名稱 | GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀 |
產(chǎn)品型號 | GSL-1100X-SPC-16 |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水:不需要 2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度 99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥) 4、工作臺: 尺寸 600mm×600mm×700mm ,,承重 50kg 以上 5、通風(fēng)裝置:不需要 |
主要特點 | 1、設(shè)有真空表、濺射電流表,可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。 2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥,控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電 離氣體,以獲得的鍍膜效果。 |
3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計,可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。 4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。 5、根據(jù)電場中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻 |
純凈。 6 、已通過 CE 認(rèn)證。 | |||
技術(shù)參數(shù) | 1、電源: 220V 2、總功率: <2000W (包括真空泵) 3、真空室: ?160mm×120mm 4 、樣品臺: ?50mm,且高度可調(diào), 可同時進(jìn)行 8 個 SEM 樣品的鍍膜 5 、max 均勻鍍膜: ?45mm | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸: 400mm×300mm×400mm;重量: 30kg | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 金靶材 | 1 個 |
2 | 進(jìn)氣針閥 | 1 個 | |
3 | 保險絲 | 2 個 | |
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 |