益處
- 全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托
- 電源接通后快速穩定
- 暴露于大氣壓后快速恢復
- 防腐陶瓷傳感器
- 的長期信號穩定性
- 溫度補償
- 傳感器防污染保護
- 一鍵調零功能
- 電源范圍廣
典型應用
- 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導體生產設備
- 數據存儲和顯示制造設備
- 工業真空設備
- 常規高精度壓力測量
規格
類型 | 1000 Torr / 1100 mbar | 500 ... 10 Torr / mbar | 1 Torr / mbar | 0.25 Torr | 0.1 Torr / mbar | |
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精度 (1) | % of reading | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.25 | 0.5 |
溫度效應 | ||||||
零點 | percent FS/°C | 0.005 | 0.005 | 0.015 | 0.02 | 0.02 |
滿量程 | % of reading / °C | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.03 | 0.03 |
分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
壓力, | kPa (absolute) | 400 | 260 | 260 | 130 | 130 |
反應時間 (2) | ms | 30 | 30 | 30 | 130 | 130 |
讀數 | percent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
建議的讀數 | percent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
建議的控制壓力 | percent FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
溫度 | ||||||
運行(環境) | °C | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 |
在法蘭處烘烤 (3) | °C | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
貯存 | °C | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 |
電源電壓 | V (dc) | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 |
CDG025D環境電容式膜片真空計