MJB4 Mask Aligner
小尺寸基片的研發(fā)解決方案
SUSS的MJB4是廣受歡迎的手動(dòng)光刻機(jī)MJB3的全新?lián)Q代產(chǎn)品。操作方便，占地面積小，成為實(shí)驗(yàn)室研究和小批量生產(chǎn)的理想設(shè)備。作為經(jīng)濟(jì)型光刻解決方案，MJB4針對(duì)直徑達(dá)100mm的小尺寸基片工藝確立了一套工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。MJB4配有高可靠和高精度的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，同時(shí)具備亞微米量級(jí)的高分辨率圖形轉(zhuǎn)移能力，這些特點(diǎn)都使得MJB4的性能明顯優(yōu)于同類設(shè)備。
亮點(diǎn)：
◆ 高分辨率掩模對(duì)準(zhǔn)光刻，特征尺寸優(yōu)于0.5微米；
◆ 裝配SUSS的單視場(chǎng)顯微鏡或分視場(chǎng)顯微鏡，實(shí)現(xiàn)快速準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)；
◆ 針對(duì)厚膠工藝進(jìn)行優(yōu)化的高分辨光學(xué)系統(tǒng)；
◆ 可選配通用光學(xué)器件，在不同波長(zhǎng)間進(jìn)行快速切換；
◆ 可通過(guò)裝配升級(jí)套件，實(shí)現(xiàn)紫外納米壓印光刻。
MJB4系統(tǒng)可廣泛用于MEMS和光電子，例如LED生產(chǎn)。它經(jīng)過(guò)特殊設(shè)計(jì)，方便處理各種非標(biāo)準(zhǔn)基片、例如混合、高頻元件和易碎的III-V族材料，包括砷化鎵和磷化銦。而且該設(shè)備可通過(guò)選配升級(jí)套件，實(shí)現(xiàn)紫外納米壓印光刻。
Details: Alignment
頂面對(duì)準(zhǔn)：
在光刻工藝中，只需對(duì)準(zhǔn)器件晶圓同側(cè)的結(jié)構(gòu)（例如再布線層、微凸點(diǎn) 等），用頂部對(duì)準(zhǔn)功能將掩模位置標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)晶圓位置標(biāo)記。 根據(jù)襯底的特性，這可以用存儲(chǔ)的晶圓位置數(shù)據(jù)或者用兩個(gè)現(xiàn)場(chǎng)照片 、SUSS MicroTec 開發(fā)的DirectAlign™ 直接對(duì)準(zhǔn)技術(shù)實(shí)現(xiàn)。
我們的客戶可以從中得到以下好處：
◆ 掩模對(duì)準(zhǔn)器的對(duì)準(zhǔn)精度
◆ 清晰、強(qiáng)大的圖像識(shí)別功能，即使在對(duì)比度不理想的情況下
紅外對(duì)準(zhǔn)：多層晶圓堆疊被應(yīng)用在許多構(gòu)造工藝中。 用紅外照射可以識(shí)別并對(duì)準(zhǔn)通常埋在層之間的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
紅外光還可以根據(jù)這些埋入的標(biāo)記進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)。 這需要使用能透過(guò)紅外線的材料，例如硅、III-V族半導(dǎo)體（如砷化鎵）以及臨時(shí)鍵合和鍵合分離工藝中所使用的粘著劑 通過(guò)個(gè)例研究檢查可行性。
為了盡可能擴(kuò)大紅外對(duì)準(zhǔn)的使用范圍，SUSS 掩模對(duì)準(zhǔn)器可以選配強(qiáng)大的紅外光源和高性能攝像系統(tǒng)。
我們的客戶可以從中得到以下好處：
◆ 強(qiáng)大的紅外光源和高性能攝像系統(tǒng)
上海鉑拓能源科技有限公司是一家專業(yè)從事實(shí)驗(yàn)室設(shè)備解決方案、特殊工況用儀器儀表系統(tǒng)解決方案以及*材料應(yīng)用的科技型企業(yè)。 特殊工況儀器儀表：公司目前針對(duì)糧儲(chǔ)、能源化工等行業(yè)提供復(fù)雜工況環(huán)境下用的測(cè)量?jī)x表及解決方案。如俄羅斯利馬克高頻雷達(dá)物位計(jì)、伊科菲斯環(huán)保電離輻射料位計(jì)和密度計(jì)、申鑠超聲波在線濃度儀等。可在高溫、超高壓力(測(cè)量介質(zhì)溫度：2000℃，60bar)、高粉塵、高腐蝕、易結(jié)晶、蒸汽、超低介電常數(shù) (介電常數(shù)1.2-1.4下依然非常精準(zhǔn))等介質(zhì)工況下使用。目前已經(jīng)廣泛應(yīng)用于糧油儲(chǔ)倉(cāng)、石化、鋼鐵冶金、電廠、水泥等行業(yè)儲(chǔ)罐物位、介質(zhì)密度及濃度的在線測(cè)量。 實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)建設(shè)：專業(yè)的化工、材料、環(huán)保技術(shù)團(tuán)隊(duì)，可以為研究單位定制實(shí)驗(yàn)裝置，目前已經(jīng)與中科院硅酸鹽研究所、中科院高等院、航天811所、上海交通大學(xué)、上海大學(xué)、上海理工大學(xué)、同濟(jì)大學(xué)等高校科研院所建立項(xiàng)目合作。代理進(jìn)口實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，如日本Nanovater納米分散設(shè)備、德國(guó)納博熱高溫爐、瑞士萬(wàn)通電化學(xué)工作站水分儀和電位滴定儀、安捷倫氣相色譜儀和氣質(zhì)聯(lián)用儀、PE珀金埃爾默ICP、麥克比表面儀、HORIBA激光散射粒徑分布分析儀、掃描電鏡、透射電鏡、哈希濁度儀、梅特勒天平及水分儀、英國(guó)科爾康氣體檢測(cè)儀、日本理研軟磁交直儀、MATS磁性材料測(cè)量系統(tǒng)、合肥科晶以及國(guó)外品牌的鋰電池及燃料電池相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備等。 *材料：*碳材料；針對(duì)新能源汽車行業(yè)電池包熱管理的需求，提供定制化隔熱防火材料及熱管理解決方案；提供電子元器件高熱傳導(dǎo)氮化硅基板及金屬陶瓷復(fù)合材料。
MJB4 實(shí)驗(yàn)室研發(fā)用光刻機(jī) 產(chǎn)品信息
關(guān)鍵詞：顯微鏡
