THz F-P干涉儀的結構是由兩片半透明高電阻率的硅平面組成，其中一片安裝在電機驅動線形驅動器上，與常規(guī)的平面窗鏡相比，具有更好的平整度和平行度，精度更高。THz輻射參數(shù)的測量通過可移動鏡片的平移（掃描）來實現(xiàn)。THz Fabry-Perot Etalon干涉儀（THz F-P）的主要作用是測量窄帶THz輻射的波長和強度，THz波的類型可以脈沖活連續(xù)窄帶。
一套完整的THz F-P干涉儀包括以下部分：TFPE干涉儀單元，供電和控制單元，鏡片位移控制軟件，連接線，使用說明
THz F-P干涉儀可以用于以下源的測量：
差頻THz產(chǎn)生器
混頻THz產(chǎn)生器
新型THz輻射源
振動陀螺儀
光學泵浦亞毫米波激光器
反響波振蕩器
自由電子激光器
量子級聯(lián)激光器
p-Ge激光器
THz F-P干涉儀還可以用于測量寬帶THz源的波長和強度，每個F-P干涉儀透過光譜過濾THz輻射 TFPE支持很多鏡片移動模式，例如移動到位置，移動到舉例，連續(xù)和周期移動。鏡片移動速度，移動間隔，開始和結束位置等都可調。
基本參數(shù)：
| 類型 | THz Fabry-Pérot Etalon |
| 材質 | HRFZ-Si |
| 直徑 | 25.4-150 mm |
| 通光孔徑 | ≥90% |
THz F-P干涉儀參數(shù)：
| 參數(shù) | 值 |
| 工作頻率范圍 | 0.1-15 THz |
| 自由光譜范圍 | 0.01-1.8 THz |
| 鏡片間距 | 0-9.5μm |
| 間距設置精度 | ±1.25μm |
| 光學軸高度 | 110mm |
| 口徑 | 52mm |
| 尺寸（L×H×W） | 232×151×120 |
| 重量 | 5.0Kg |
主要特點：
大口徑52mm
高鏡片位置精度±1.25μm
寬工作范圍0.1-15THz
高擊穿閾值
THz F-P干涉儀的以下附件需要單獨購買：
光聲Golay探測器GC-1P/T/D
BPF（帶通濾波片）在0.1-15THz之間波長
LPF（短波通濾光片）濾除IR輻射，截止頻率為23.4THz，23.3THz，23.1THz，14.3THz，10.9THz，8.8THz，5.5THz，4.3THz，4THz，3.2THz。
一套衰減器具有1%，3%，10%，30%透過率
TPX和HRFZ-Si透鏡
