加拿大Zaber于1997年成立于溫哥華。Zaber高、低真空設(shè)備使用特殊設(shè)計的真空步進電機,高真空電機的額定真空度為10-6Torr,低真空電機的額定真空度為10-3Torr。為了在敏感應用中使用,zaber真空設(shè)備中選擇低釋氣和非冷凝材料。全部的高真空設(shè)備上均采用排氣式不銹鋼螺絲,所有的低真空設(shè)備均使用非排氣式不銹鋼螺絲。
Zaber真空線性平臺具有內(nèi)置控制器和編碼器(所有控制和驅(qū)動電子元件集成在一個緊湊型封裝中的設(shè)備),避免了繁雜的電纜交錯。而且zaber的所有產(chǎn)品允許它們使用菊花鏈式的方式銜接,在真空環(huán)境中,菊花鏈銜接的方式也省去了額外的饋通,幾臺Zaber設(shè)備可在只有一條饋通線的條件下運行。因此,Zaber真空線性平臺具有價格平滑,設(shè)計緊湊,集成且易于使用的特點。
Zaber位移臺的特點是把所有控制包括控制器和驅(qū)動器等電子元件都集成在同一個封裝中,非常方便使用。此外,變速箱和編碼器進行了小型化封裝組合,這種輕便人性化的設(shè)計是Zaber電動位移臺在位移臺(平移臺)領(lǐng)域,界的基礎(chǔ)。
Zaber真空線性平臺,Vacuum Devices
1) High Vacuum Device built-in Controllers,內(nèi)置控制器的高真空電動平移臺
Zaber X-LRQ-SV2系列,高真空、高負載線性平移臺
X-LRQ-SV2系列產(chǎn)品的特點:
? 與10-6 Torr的真空設(shè)備兼容
? 高達205毫米/秒的速度和高達100牛的推力
? 內(nèi)置控制器,可連接其他Zaber產(chǎn)品
? 可選75,150,300,450,600mm的行程
? 100公斤的負載能力
? 通過串行端口(使用X-PIB適配器)控制連接的所有單元只需要4根線
X-LRQ-SV2是Zaber的一款高真空電控平移臺,其具有高剛度、結(jié)構(gòu)緊湊、高負載和長使用壽命等特點。X-LRQ-SV2系列產(chǎn)品都是獨立的單元,只需要接通標準的24 V或48 V電源就可工作。在沒有電腦的情況下,Zaber專門設(shè)計的索引旋鈕也可以提供方便的手動控制,以實現(xiàn)多種操作
X-LRQ-DEC系列平移臺可以連接到任何計算機的RS-232端口或USB端口,并可以與任何其他Zaber產(chǎn)品連接,連接后共享一個電源的電力。還可以方便的鎖定,連接一般采用4針,M8連接器。
X-LRQ-SV2系列平移臺只有36毫米高,可以應用于尺寸有限的場合。 X-LRQ-DEC的創(chuàng)新設(shè)計允許速度高達205毫米/秒,載重高達100千克。像所有Zaber的其它產(chǎn)品一樣,X-LRQ-DEC系列的設(shè)計是“即插即用”,非常容易安裝和操作。這產(chǎn)品段可以拼接成XY和XYZ系統(tǒng)。
加拿大Zaber公司X-LRQ-SV2系列平移臺的命名規(guī)則:
X-LRQ表示產(chǎn)品的系列,075表示行程,A表示Lead Screw Options,對應運動速度的快慢,L表示Drive Configuration,SV2表示高真空或低真空。
X-LRQ-SV2系列具體型號:
X-LRQ075AL-SV2: 高真空, 線性平移臺, 75mm行程, 內(nèi)置控制器, 高分辨率, 低速
X-LRQ075BL-SV2
X-LRQ150AL-SV2、X-LRQ150BL-SV2 X-LRQ300AL-SV2、X-LRQ300BL-SV2
X-LRQ450AL-SV2、X-LRQ450BL-SV2 X-LRQ600AL-SV2、X-LRQ600BL-SV2
Zaber X-LSM-SV2系列,高真空線性平移臺(行程:25mm,50mm,100mm,150mm,200mm)
X-LSM025A-SV2:高真空, 線性平移臺, 25mm行程, 內(nèi)置控制器, 高分辨率, 低速
X-LSM025B-SV2
X-LSM050A-SV2、X-LSM050B-SV2 X-LSM100A-SV2、X-LSM100B-SV2
X-LSM150A-SV2、X-LSM150B-SV2 X-LSM200A-SV2、X-LSM200B-SV2
Zaber X-VSR-V2系列,高真空垂直平移臺
X-VSR20A-SV2:高真空, 電動升降臺, 20mm行程, 內(nèi)置控制器
X-VSR40A-SV2:高真空, 電動升降臺, 40mm行程, 內(nèi)置控制器
Zaber X-RSW-SV2系列,高真空選轉(zhuǎn)臺
X-RSW60A-SV2:高真空, 電動旋轉(zhuǎn)臺, 360°旋轉(zhuǎn), 60 mm diameter, 內(nèi)置控制器, 高分辨率, 低速
Zaber X-RSM-SV2系列,高真空、低負載旋轉(zhuǎn)臺
型號:
X-RSM40B-SV2:高真空, 電動旋轉(zhuǎn)臺, 內(nèi)置控制器, 40 mm stage top, medium resolution
Zaber X-GSM-SV2系列,高真空角度調(diào)整臺
X-GSM40-SV2:高真空, 電動角度臺, 內(nèi)置控制器, 40 mm centre of rotation
X-GSM60-SV2:高真空, 電動角度臺, 內(nèi)置控制器, 60 mm centre of rotation
Zaber T-NA-SV2系列,高真空線性制動器
T-NA08A25-SV2:高真空線性致動器, 25mm行程, RS-232
T-NA08A50-SV2:高真空線性致動器, 50mm行程, RS-232
2) 高真空 Device built-in Stand-alone Controllers,帶獨立控制器的高真空線性平移臺
Zaber LRQ-SV2系列,高真空、高負載線性平移臺(行程:75mm,150mm,300mm,450mm,600mm)
型號:
LRQ075AL-V2T4:高真空, 線性平移臺, 75mm行程, 高分辨率, 低速
LRQ075BL-V2T4
LRQ150AL-V2T4、LRQ150BL-V2T4 LRQ300AL-V2T4、LRQ300BL-V2T4
LRQ450AL-V2T4、LRQ450BL-V2T4 LRQ600AL-V2T4、LRQ600BL-V2T4
Zaber LSM-SV2系列,高真空線性平移臺(行程:25mm,50mm,100mm,150mm,200mm)
型號:
LSM025A-V2T4:高真空, 線性平移臺, 25mm行程, 高分辨率, 低速
LSM025B-V2T4
LSM050A-V2T4、LSM050B-V2T4 LSM100A-V2T4、LSM100B-V2T4
LSM150A-V2T4、LSM150B-V2T4 LSM200A-V2T4、LSM200B-V2T4
Zaber LSA-V2系列,高真空,微型線性位移臺
型號:
LSA10A-V2T4:高真空, 線性平移臺, 10mm行程, 高分辨率
LSA25A-V2T4:高真空, 線性平移臺, 25mm行程, 高分辨率
Zaber VSR-V2系列,高真空垂直位移臺
型號:
VSR20A-V2T4:高真空, 電動升降臺, 20mm行程
VSR40A-V2T4:高真空, 電動升降臺, 40mm行程
Zaber RSW-SV2系列,高真空旋轉(zhuǎn)臺
型號:
RSW60A-V2T4:高真空, 電動旋轉(zhuǎn)臺, 360°旋轉(zhuǎn), 60 mm diameter, 高分辨率, 低速
RSM40B-V2T4:高真空, 電動旋轉(zhuǎn)臺, 40 mm stage top, medium resolution
Zaber RSM-SV2系列,高真空,低負載旋轉(zhuǎn)臺
型號:
RSM40B-V2T4:高真空, 電動旋轉(zhuǎn)臺, 40 mm stage top, 中等分辨率
Zaber GSM-SV2系列,高真空線性致動器
型號:
GSM40-V2T4:高真空, 電動角度臺, 40 mm centre of rotation
GSM60-V2T4:高真空, 電動角度臺, 60 mm centre of rotation
3) 低真空 Device built-in Controllers,內(nèi)置控制器的低真空線性平臺
Zaber X-LRQ-SV1系列,低真空、高負載線性平移臺(行程:75mm,150mm,300mm,450mm,
600mm)
型號:
X-LRQ075AL-SV1:低真空, 線性平移臺, 75mm行程, 內(nèi)置控制器, 高分辨率, 低速
X-LRQ075BL-SV1
X-LRQ150AL-SV1、X-LRQ150BL-SV1 X-LRQ300AL-SV1、X-LRQ300BL-SV1
X-LRQ450AL-SV1、X-LRQ450BL-SV1 X-LRQ600AL-SV1、X-LRQ600BL-SV1
Zaber X-LSM-SV1系列,低真空線性平移臺(行程:25mm,50mm,100mm,150mm,200mm)
型號:
X-LSM025A-SV1:低真空, 線性平移臺, 25mm行程, 內(nèi)置控制器, 高分辨率, 低速
X-LSM025B-SV1
X-LSM050A-SV1、X-LSM050B-SV1 X-LSM100A-SV1、X-LSM100B-SV1
X-LSM150A-SV1、X-LSM150B-SV1 X-LSM200A-SV1、X-LSM200B-SV1
Zaber X-VSR-V1系列,低真空垂直平移臺
型號:
X-VSR20A-SV1:低真空, 電動升降臺, 20mm行程, 內(nèi)置控制器
X-VSR40A-SV1:低真空, 電動升降臺, 40mm行程, 內(nèi)置控制器
Zaber X-RSW-SV1系列,低真空旋轉(zhuǎn)臺
型號:
X-RSW60A-SV1:低真空, 電動旋轉(zhuǎn)臺, 360°旋轉(zhuǎn), 60 mm diameter, 內(nèi)置控制器, 高分辨率, 低速
Zaber X-RSM-SV1系列,低真空、低負載旋轉(zhuǎn)臺
型號:
X-RSM40B-SV1:低真空, 電動旋轉(zhuǎn)臺, 內(nèi)置控制器, 40 mm stage top, 中等分辨率
Zaber X-GSM-SV1系列,低真空角度調(diào)整臺
型號:
X-GSM40-SV1:低真空, 電動角度臺, 內(nèi)置控制器, 40 mm centre of rotation
X-GSM60-SV1:低真空, 電動角度臺, 內(nèi)置控制器, 60 mm centre of rotation
Zaber T-NA-SV1系列,低真空線性致動器 Zaber T-MM-V系列,低真空反射鏡調(diào)整架
型號:
T-NA08A25-SV1:低真空線性致動器, 25mm行程, RS-232
T-NA08A50-SV1:低真空線性致動器, 50mm行程, RS-232
4) 低真空 Device built-in Stand-alone Controllers,帶獨立控制器的低真空線性平移臺
型號:
Zaber LRQ-V1系列,低真空、高負載線性平移臺(行程:75mm,150mm,300mm,450mm,600mm)
型號:
LRQ075AL-V1T4:低真空, 線性平移臺, 75mm行程, 高分辨率, 低速
LRQ075BL-V1T4
LRQ150AL-V1T4、LRQ150BL-V1T4 LRQ300AL-V1T4、LRQ300BL-V1T4
LRQ450AL-V1T4、LRQ450BL-V1T4 LRQ600AL-V1T4、LRQ600BL-V1T4
Zaber LSM-V1系列,低真空線性平移臺(行程:25mm,50mm,100mm,150mm,200mm)
型號:
LSM025A-V1T4:低真空, 線性平移臺, 25mm行程, 高分辨率, 低速
LSM025B-V1T4
LSM050A-V1T4、LSM050B-V1T4 LSM100A-V1T4、LSM100B-V1T4
LSM150A-V1T4、LSM150B-V1T4 LSM200A-V1T4、LSM200B-V1T4
Zaber LSA-V1系列,低真空,微型線性位移臺
型號:
LSA10A-V1T4:低真空, 線性平移臺, 10mm行程, 高分辨率
LSA25A-V1T4:低真空, 線性平移臺, 25mm行程, 高分辨率
Zaber VSR-V1系列,低真空垂直位移臺
型號:
VSR20A-V1T4:低真空, 電動升降臺, 20mm行程
VSR40A-V1T4:低真空, 電動升降臺, 40mm行程
Zaber RSW-V1系列,低真空旋轉(zhuǎn)臺
型號:
RSW60A-V1T4:低真空, 電動旋轉(zhuǎn)臺, 360°旋轉(zhuǎn), 60 mm diameter, 高分辨率, 低速
Zaber RSM-V1系列,低真空,低負載旋轉(zhuǎn)臺
型號:
RSM40B-V1T4 低真空, 電動旋轉(zhuǎn)臺, 40 mm stage top, 中等分辨率
Zaber GSM-V1系列,低真空線性角度調(diào)整臺
型號:
GSM40-V1T4:低真空, 電動角度臺, 40 mm centre of rotation
GSM60-V1T4:低真空, 電動角度臺, 60 mm centre of rotation
5) Non-Motorized
Zaber TSB-V系列,低真空線性平臺
型號:
TSB28E-V: Translation stage, 28mm行程, 1/4"-20 thread, vacuum compatible
TSB28M-V:Translation stage, 28mm行程, M6 thread, vacuum compatible
TSB60E-V: Translation stage, 60mm行程, 1/4"-20 thread, vacuum compatible
TSB60M-V:Translation stage, 60mm行程, M6 thread, vacuum compatible