多通分光鏡，用在光輻射需要多次通過分光鏡的情況下，一般用于干涉儀方案。其尺寸直徑可達150mm，厚度在3.5-10mm之間，THz分光鏡采用HRFZ-Si或KBr兩種材質，兩面都是平面鏡沒有鍍膜，在很寬的的波段范圍內的透過率和反射率的比約為54%：46%俄羅斯Tydex公司在太赫茲分光鏡領域，供應兩種太赫茲分光鏡：單通分光鏡，用在光輻射只通過分光鏡一次的情況下。
圖1. HRFZ-Si透過率和反射率（樣品厚度5mm）
一，單通太赫茲分光鏡
單通THZ分光鏡材料的參數指標和HRFZ-Si窗一樣。事實上，平面型的HRFZ-Si窗可以用作單通分光鏡。
參數:
| 材料 | HRFZ-Si |
| 類型 | 平面鏡型 |
| 尺寸, mm | 150 |
| 直徑公差,mm | +0.0 / -0.1 |
| 厚度公差, mm | ± 0.1 |
| 通光口徑占外徑比例, % | ≥90 |
| 平行度. min | 3 |
| 表面質量(兩面拋光度), scr/dig | 60/40 |
| 表面精度, mm | ±0.01 背離理想平板 |
2. 多通THz分光鏡
多通分光鏡通常用在干涉儀中，和單通分光鏡一樣，要求高的制作精度。
參數:
| 材料 | HRFZ-Si |
| 類型 | plano-plano |
| 尺寸, mm | to 150 |
| 直徑公差,mm | 0 |
| 厚度公差, mm | ±0.01 |
| 通光口徑占外徑比例, % | ≥90 |
| 平行度. min | 5 |
| 表面質量(兩面拋光度), scr/dig | 60/40 |
| 表面精度, mmλ@633 nm | 1 |
以下的多通分光鏡規格有庫存：
| No. | 直徑 mm | 厚度 mm |
| 1 | 40x30 | 3.5 |
| 2 | 50.8 | 3.5 |
Tydex公司HRFZ-Si分光束片的標準規格
| 類型描述 | 直徑, mm | 厚度mm | 型號 |
| plano-plano | 25.4 | 3.5 | BS-HRFZ-SI-D25.4-T3.5 |
| plano-plano | 25.4 | 3.5 | BS-HRFZ-SI-D25.4-T3.5 |
| plano-plano | 38.1 | 3.5 | BS-HRFZ-SI-D38.1-T3.5 |
| plano-plano | 38.1 | 3.5 | BS-HRFZ-SI-D38.1-T3.5 |
| plano-plano | 38.4 | 3.5 | BS-HRFZ-SI-D38.4-T3.5 |
| plano-plano | 50.8 | 3.5 | BS-HRFZ-SI-D50.8-T3.5 |
| plano-plano | 50.8 | 3.5 | BS-HRFZ-SI-D50.8-T3.5 |
| plano-plano | 50.8 | 5 | BS-HRFZ-SI-D50.8-T5 |
| plano-plano | 50.8 | 5 | BS-HRFZ-SI-D50.8-T5 |
| plano-plano | 50.8 | 10 | BS-HRFZ-SI-D50.8-T10 |
| plano-plano | 76.2 | 6 | BS-HRFZ-SI-D76.2-T6 |
| plano-plano | 76.2 | 6 | BS-HRFZ-SI-D76.2-T6 |
| plano-plano | 101.6 | 8 | BS-HRFZ-SI-D101.6-T8 |
| plano-plano | 150 | 10 | BS-HRFZ-SI-D150-T10 |
| plano-plano | 40 x 30 | 3.5 | BS-HRFZ-SI-L40-H30-T3.5 |
| plano-plano | 40 x 30 | 3.5 | BS-HRFZ-SI-L40-H30-T3.5 |
| plano-plano | 138.6 x 138.6 | 10 | BS-HRFZ-SI-L138.6-H138.6-T10 |
Tydex公司KBr分光鏡的標準規格
| 類型描述 | 直徑, mm | 厚度mm | 型號 |
| plano-plano | 30 | 5 | BS-KBr-D30-T5-C |
