適用于紅外波段的高精度硅微透鏡陣列

微透鏡陣列常見的生產材質主要有硅、熔融石英和塑料。熔融石英聚焦較好的透過率和耐受性，在適用波段上，根據材質的不同，分為紫外，可見光波段和紅外熔融石英。而硅材料，在紅外波段可工作的波長范圍比熔融石英更廣，也是常見、的紅外波段Si復眼透鏡生產材質。塑料材質，因為工藝上的差異，更適合于微透鏡陣列的批量生產，在成本控制上性價比跟高。

我司現隆重推出硅微透鏡陣列，以滿足可在紅外波段的應用需求。現階段的Si微透鏡陣列雖然剛起步，但亦有數十個標準品型號。口徑囊括常見的尺寸，在100-1500μm之間。因為硅制的紅外微透鏡陣列，材質折射率比較大，所以，相同的工藝下，我們不僅達成了與熔融石英微透鏡陣列一致的加工精度，同時，在微透鏡陣列的焦距上有了更大的可選擇性。

與微透鏡陣列系類似，紅外微透鏡陣列常見的應用有：準直、勻化、波前傳感等等。其主要的應用，是在傳感器中，提高儀器的信息收集效率和探測精度。

考慮到客戶的應用場景和實際需求，現階段的口徑只有方形。當然，如果客戶有其他口徑形狀的紅外微透鏡陣列需求，亦可定制加工。口徑上，主要有常見的100、200、250、500、800、1000、1100和1500μm等。硅材質紅外波段的微透鏡陣列在厚度上，可以比熔融石英的更薄，做到0.25mm。鏡片尺寸上，依舊以常見的10*10mm為中心。

隨著客戶的需求的不斷發展，我司Si微透鏡陣列也會不斷發展提高。目前Si微透鏡陣列的加工精度與熔融石英的微透鏡陣列一致，定制加工的能力上也是。但是因為Si復眼透鏡的材質的折射率更高，所以客戶定制的時候，焦距可以放的更大，可選擇性更廣。

常規定制加工限制：

-ROC誤差：±5%

-表面粗糙度：<30nm

-Pitch誤差：小于±1μm

-子單元之間存在2-4μm的間隙

常規定制加工限制：

-子單元（微透鏡）的pitch值介于15-1500μm

-子單元的矢高（穹頂到襯底的高度sag）介于0.7-50μm

-只能加工單片平凸結構，雙凸加工不了

現有硅微透鏡陣列標準品型號：