超純低壓手動隔膜閥 DLM
DLM系列超純低壓手動隔膜閥適用于半導(dǎo)體行業(yè)高純氣體低壓工況下的輸送，產(chǎn)品在采用緊湊設(shè)計的同時，實現(xiàn)高CV值。在高標(biāo)準的潔凈室內(nèi)生產(chǎn)，EP電解拋光處理內(nèi)表面，粗糙度可達Ra≤5μin。每個產(chǎn)品都需要經(jīng)過氦質(zhì)譜泄漏測試，從而保障應(yīng)用安全性。
材料
閥體：SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR
閥座：PCTFE/PFA/PI
膜片：鈷基超級合金、Hastelloy C-22、SS316L
使用溫度
PCTFE: -10~80℃
PFA/PI: -10~150℃
使用壓力：300psi（20.7Bar）
閥體內(nèi)漏率：≤1.0x10-9 Pa?m3/sec He
閥體外漏率：≤1.0x10-9 Pa?m3/sec He
規(guī)格 | 1/4” | 3/8” | 1/2” | 3/4” |
CV值（流量系數(shù)） | 0.27 | 0.27-0.7 | 0.7 | 1.7 |
內(nèi)表面粗糙度
Ba：Ra≤10μin（0.25μm）
EP級：Ra≤5μin （0.13μm）
連接選擇：VCR公頭、VCR母頭、卡套接頭、對焊管接頭
| 編碼 | 兩端接頭 | A(mm) | B(mm) | C(mm) | D(mm) | E(mm) | F(mm) | G(mm) |
| DLM04M | 1/4"VCR公頭 | 57 | 11 | 63 | 40 | 25 | 26 | 25.4 |
| DLM06M | 3/8"VCR公頭 | 77 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM08M | 1/2"VCR公頭 | 77 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM12M | 3/4"VCR公頭 | 107 | 23 | 82.8 | 40 | 46 | 48 | 35 |
| DLM04F | 1/4"VCR母頭 | 70.6 | 11 | 63 | 40 | 25 | 26 | 25.4 |
| DLM06F | 3/8"VCR母頭 | 83 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM08F | 1/2"VCR母頭 | 83 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM12F | 3/4"VCR母頭 | 179.2 | 23 | 82.8 | 40 | 46 | 48 | 35 |
| DLM04T | 1/4"卡套接頭 | 48 | 11 | 63 | 40 | 25 | 26 | 25.4 |
| DLM06T | 3/8"卡套接頭 | 64 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM08T | 1/2"卡套接頭 | 64 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM12T | 3/4"卡套接頭 | 126 | 23 | 82.8 | 40 | 46 | 48 | 35 |
| DLM04W | 1/4"對焊 | 54 | 11 | 63 | 40 | 25 | 26 | 25.4 |
| DLM06W | 3/8"對焊 | 69 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM08W | 1/2"對焊 | 69 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM12W | 3/4"對焊 | 156 | 23 | 82.8 | 40 | 46 | 48 | 35 |
