超純低壓手動隔膜閥 DLM
DLM系列超純低壓手動隔膜閥適用于半導體行業高純氣體低壓工況下的輸送，產品在采用緊湊設計的同時，實現高CV值。在高標準的潔凈室內生產，EP電解拋光處理內表面，粗糙度可達Ra≤5μin。每個產品都需要經過氦質譜泄漏測試，從而保障應用安全性。
材料
閥體：SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR
閥座：PCTFE/PFA/PI
膜片：鈷基超級合金、Hastelloy C-22、SS316L
使用溫度
PCTFE: -10~80℃
PFA/PI: -10~150℃
使用壓力：300psi（20.7Bar）
閥體內漏率：≤1.0x10-9 Pa?m3/sec He
閥體外漏率：≤1.0x10-9 Pa?m3/sec He
規格 | 1/4” | 3/8” | 1/2” | 3/4” |
CV值（流量系數） | 0.27 | 0.27-0.7 | 0.7 | 1.7 |
內表面粗糙度
Ba：Ra≤10μin（0.25μm）
EP級：Ra≤5μin （0.13μm）
連接選擇：VCR公頭、VCR母頭、卡套接頭、對焊管接頭
| 編碼 | 兩端接頭 | A(mm) | B(mm) | C(mm) | D(mm) | E(mm) | F(mm) | G(mm) |
| DLM04M | 1/4"VCR公頭 | 57 | 11 | 63 | 40 | 25 | 26 | 25.4 |
| DLM06M | 3/8"VCR公頭 | 77 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM08M | 1/2"VCR公頭 | 77 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM12M | 3/4"VCR公頭 | 107 | 23 | 82.8 | 40 | 46 | 48 | 35 |
| DLM04F | 1/4"VCR母頭 | 70.6 | 11 | 63 | 40 | 25 | 26 | 25.4 |
| DLM06F | 3/8"VCR母頭 | 83 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM08F | 1/2"VCR母頭 | 83 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM12F | 3/4"VCR母頭 | 179.2 | 23 | 82.8 | 40 | 46 | 48 | 35 |
| DLM04T | 1/4"卡套接頭 | 48 | 11 | 63 | 40 | 25 | 26 | 25.4 |
| DLM06T | 3/8"卡套接頭 | 64 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM08T | 1/2"卡套接頭 | 64 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM12T | 3/4"卡套接頭 | 126 | 23 | 82.8 | 40 | 46 | 48 | 35 |
| DLM04W | 1/4"對焊 | 54 | 11 | 63 | 40 | 25 | 26 | 25.4 |
| DLM06W | 3/8"對焊 | 69 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM08W | 1/2"對焊 | 69 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM12W | 3/4"對焊 | 156 | 23 | 82.8 | 40 | 46 | 48 | 35 |
