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后曝光氮?dú)夂嫦洌琍EB無塵烘箱

參考價 56870
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2024/2/22 10:48:16
  • 訪問次數(shù)687
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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗(yàn)機(jī)、橡塑試驗(yàn)檢測設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè),具有很強(qiáng)的自主開發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨,為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國內(nèi)外客戶的*好評,更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮?dú)夂嫦洌邷責(zé)o氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗(yàn)箱高低溫試驗(yàn)箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發(fā)酵設(shè)備,導(dǎo)體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗(yàn)機(jī),橡塑檢測試驗(yàn)機(jī)等。
    不斷追求技術(shù)進(jìn)步、提升專業(yè)服務(wù)能力,做一個專業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實(shí)施了CRM、ERP項(xiàng)目管理,在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財務(wù)管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程,形成了覆蓋全國的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò),以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機(jī)會,以飽滿的熱情、真誠的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來!





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材質(zhì) 不銹鋼 工作室尺寸 500-2000mm
功率 2500 加工定制
類型 恒溫 適用范圍 太陽能、半導(dǎo)體、集成電路
溫度范圍 50-500℃ 重量 190kg
后曝光氮?dú)夂嫦洌琍EB無塵烘箱所使用的高溫(100-130°C)會使光敏化合物擴(kuò)散,從而消除駐波波紋.百級潔凈度無塵化,專用于半導(dǎo)體,集成電路。
后曝光氮?dú)夂嫦洌琍EB無塵烘箱 產(chǎn)品信息

后曝光氮?dú)夂嫦洌琍EB無塵烘箱應(yīng)用工藝

   無塵烘箱所使用的高溫(100-130°C)會使光敏化合物擴(kuò)散,從而消除駐波波紋.百級潔凈度無塵化,專用于半導(dǎo)體,集成電路。

  一種減少駐波效應(yīng)的方法稱為后曝光烘烤(PEB)。所使用的高溫(100-130°C)會使光敏化合物擴(kuò)散,從而消除駐波波紋。重要的是要注意,高溫對光刻膠的有害影響,如上所述的PAB,也適用于PEB。因此,優(yōu)化烘烤條件變得非常重要。此外,曝光產(chǎn)物的擴(kuò)散速率取決于PAB條件-存在溶劑可以增強(qiáng)PEB過程中的擴(kuò)散。因此,低溫后曝光烘烤可以在給定的PEB溫度下產(chǎn)生更大的擴(kuò)散。

  對于常規(guī)光刻膠,PEB的主要意義在于消除駐波的擴(kuò)散。對于另一類稱為化學(xué)增強(qiáng)光刻膠的光刻膠,PEB是產(chǎn)生曝光和未曝光部分光刻膠可溶解度差異的化學(xué)反應(yīng)的必要組成部分。對于這些光刻膠,曝光產(chǎn)生一小部分強(qiáng)酸,它本身不會改變光刻膠的溶解度。在后曝光烘烤期間,這種光產(chǎn)生的酸催化了一種反應(yīng),改變了光刻膠中聚合物樹脂的溶解度。對于化學(xué)增強(qiáng)光刻膠,PEB的控制非常關(guān)鍵。

后曝光氮?dú)夂嫦洌琍EB無塵烘箱性能

潔凈度:Class100;     

溫度:RT+15~300℃;
工藝氣體:N2 

計(jì)時功能:0-99H99M99S 

設(shè)備材質(zhì):內(nèi)部SUS304不銹鋼           

工作尺寸(mm):

450×450×450(4)

500×500×550(6)

600×600×700(8)

(可定制)          

網(wǎng)板:活動式2塊

無塵烘箱,百級潔凈烘箱適用性:

氮?dú)夂嫦湟策m用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、MEMS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研.



關(guān)鍵詞:潔凈烘箱
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