熱式質量流量控制器GF100 系列EtherCAT
純度氣路。超高精確，無污染的控制。
現今許多高級電子元器件的加工工藝都需要能夠對昂貴的超純氣體和液態前體進行相當準確并且具有高度可重現性的測定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的革命性金屬密封熱質量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產品將穩定性和準確性超高的測量傳感器與快速、精準的控制閥以及功能強大的電子元件相結合共同實現了精準的化學品控制。高完整性（無泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過程化學品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過程媒介而設計。
關鍵應用
硅材料半導體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴散、植入和 RTP
化合物半導體器件加工工藝 – MOCVD
精密的表面涂層
分析系統
真空處理應用
選擇自身工藝需求的質量流量設備。
速、準的MFC
加強了擁有EtherCAT®的速度
型號 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126
針對半導體工藝的性能
嵌入式診斷利用實時以太網數據采集能力
超穩定流量傳感器（每年≤設定值0.15%的漂移）使低流量更精準，同時減少維修的需求
改進的閥門關閉（≤bin范圍的0.15%）減少閥門內漏，從而改善片晶圓效應
新增強的抗壓力瞬時波動在持續流體傳輸中降低了串擾流敏感度
特點
每年<滿量程的±0.15%的長期零點穩定性
響應穩定時間: 300毫秒 - <1秒
流量可達到300 slpm
全金屬密封的流體通路：可選5µ 或 10µ inch Ra的表面粗糙度
抗腐蝕的哈氏合金升溫傳感器在溫度升高時改善了測量的重復性
MultiFloTM 氣體和量程的可編程性—一臺表，幾千種氣體和量程的組合，無需把MFC從管路上拆除，也不會影響精度
方便的用戶顯示和獨立的診斷/服務端口可幫助儀表安裝，監測和故障排查
GF120 安全傳輸系統(SDS®)是布魯克斯的低壓降質量流量控制計，用于離子注入和刻蝕工藝的負壓安全傳輸系統的氣體傳輸
優勢
超常的性能
快速反應時間改進應用效率
靈活的拓撲
幾乎無限的網絡拓撲可能
簡單、堅固
配置，診斷以及維護
負擔能力
標準的以太網端口
應用
半導體刻蝕設備
薄膜化學氣相沉積系統 (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
物理氣相沉積 (PVD) 系統
外延工藝系統
型號
規格
性能
機械
等級
診斷和顯示
電氣
