滑動式二硫化鉬CVD制備設備

一、 滑動式二硫化鉬CVD制備設備概述
硫粉預熱器采用管內測控溫以保證在250℃以下，穩定控制硫蒸汽的蒸發時機和蒸發溫度。真空機組裝有真空粉塵過濾器以保護機械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復合真空計（在1000Pa以上測量不受氣體種類影響，耐硫蒸氣腐蝕），通過調節真空蝶閥的開啟程度調節爐管內壓力穩定，在1200℃以下的工藝溫度穩定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。
二、  滑動式二硫化鉬CVD制備設備設備組成
HCVD-1200S雙溫區管式爐，HTF400C硫粉預熱器(雙溫區管式爐與預熱器可滑動)，質量流量計供氣系統，機械式真空泵等組成。
 三、  滑動式二硫化鉬CVD制備設備主要技術參數
硫粉預熱器 

型號：HTF-400C

工作溫度：350℃

MAX溫度：400℃

MAX升溫速率：30℃/min

推薦升溫速率：10℃/min

控溫方式：智能化30段可編程控制

工作電壓：AC220 V額定功率：800W

控溫精度：±1℃

加熱元件：電阻絲 

雙溫區硫化爐 

型號：HCVD-1200S

技術參數：額定功率(KW):3

額定電壓(V):AC220v  50/60 Hz

MAX溫度(℃):1200（1 hour）

持續工作溫度(℃）：1100

升溫速率（℃/min）：≤50

爐管尺寸（mm）：高純石英管Φ50×1500mm

加熱區長度（mm）：440mm

恒溫區長度（mm）:200mm 

控溫方式:模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能

控溫精度(℃):±1

加熱元件:電阻絲
供氣系統GMF3Z 

質量流量計重量：35Kg

外形尺寸：600x600x650mm

連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭

標準量程（N2標定)：50sccm、200sccm、500sccm； （可根據用戶要求定制）

準確度：±1.5%線性：±0.5～1.5%重復精度：±0.2%

響應時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa MAX壓力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

顯示：4位數字顯示

工作環境溫度:5~45℃

內外雙拋不銹鋼管：Φ6

壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 

截止閥：Φ6
低真空機組VAU-02 

技術參數：

空氣相對濕度≤85%

工作電電壓：220V±10%  50~60HZ

 功率：1千瓦

抽氣速率：4L/s

極限真空：4X10-2Pa

實驗真空度：1.0X10-1Pa

容油量：1.1L

進氣口口徑：KF25

排氣口口徑：KF25

轉速：1450rpm

噪音：50dB

外型尺寸:450×180×240mm
配真空粉塵過濾器，DN25手動蝶閥用于控制爐管內壓力，INFICON PCG554復合真空計