主要特點：

高亮度場發射電子槍冷
冷場發射電子槍先天具有的高亮度和高能量分辨率的特點，使納米量級分析研究成為可能，對超高分辨圖像和電子全息攝影具有極大貢獻。

300kV高壓系統

300kV高壓系統具有更高的穿透能力，保證了厚樣品的原子分辨率圖像，降低了樣品制備難度，尤其對于金屬、陶瓷等高原子序數樣品的觀測十分有利。

的分析能力
新引入了雙重雙棱鏡全息攝影功能、高空間分辨率電子能量損失譜（EELS）和高精度平行納米束衍射技術等的分析技術。

可與FIB聯用樣品桿
日立公司專有的樣品桿可適應FIB、TEM和STEM的使用。

簡便易用的控制系統
基于Windows開發的電腦控制系統、馬達驅動可動光闌和5軸馬達樣品臺使得儀器簡單易用，10分鐘的升壓時間和1分鐘的換樣時間保證了儀器高效率的運轉。