GAIA3的突出特點
·單極60°電磁物鏡設計,的SEM分辨率
·的多種成像模式—大視場模式,分辨率模式以及景深模式—這些功能都基于TESCAN的大視場光學系統設計
·馬達控制的精準樣品臺,可進行精確的移動或傾轉操作
·Field-free模式下可對磁性樣品進行有效觀察
·高達200nA的束流強度
·停留時間低至20ns的快速電子束刻蝕速度
·FIB的Cobra光學系統,確保聚焦離子束的分辨率和優異的性能,離子束流為1pA到50nA
·強大的DrawBeam軟件包,包含許多可編程設計模塊(基礎版和高級版)來實現掃描及制樣等過程中可調參數的多樣化
·不僅具有對樣品表面進行修飾和觀察的多種功能,的空間設計還能夠使電鏡通過接口兼容多種探測設備與技術手段,且還能保持一致的分析工作距離