主要特點
TriglavTM-新設計的超高分辨(UHR)電子鏡筒配置了TriglavTM物鏡和的探測系統
- 以的方式結合了三透鏡物鏡和crossover-free模式
- 的且可隨意變化的探測系統可用于同步獲取不同的信號
- 超高的納米分辨率:15keV下0.7nm,1keV下1nm
- 極限超高分辨率:1keV下1nm
- 可變角度的BSE探測器,化了低能量下能量反差
- 實時電子束追蹤(In-flight Beam TracingTM)實現了電子束的化
- 傳統的TESCAN大視野光路(Wide Field OpticalTM)設計提供了不同的工作和顯示模式
- 有效減少熱能損耗,的電子鏡筒的穩定性
- 新款的肖特基場發射電子槍現在能實現電子束電流達到400nA,且電子束能量可快速的改變
- 為失效分析檢測過程中的節點提供了的解決方案
- 適合精巧的生物樣品成像
- 可觀察磁性樣品
- 優化的鏡筒幾何學配置使得8’’晶元觀察成為可能(SEM觀察和FIB納米加工)
- 的實時三維立體成像,使用了三維電子束技術
- 友好的,成熟的SW模塊和自動化程序