高真空
真空可實現高真空環境下的高溫及低溫電學性能測量,一體成型,具有設計合理,真空度穩定,溫控精度及機械精度高等特點;根據測試溫度范圍不同,可單選高溫或低溫等相應組件,溫度可達到1000℃,低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件,溫度可低至77K/10K,;真空系統可選機械泵或分子泵系統,真空度可達到10-3Torr或10-6Tor。
高低溫真空探針臺應用:
可應用于低溫或高溫真空環境下被測樣品的電學性能測試分析,如:半導體/微電子,電子,機電,物理,化學,材料,光電,納米,微機電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學研究領域,以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。
高低溫真空探針臺技術參數:
顯微鏡配置 顯微鏡/視頻顯微鏡
顯微鏡 放大倍數50倍
視頻成像配置 成像系統,放大倍數300倍
樣品臺尺寸80mm 漏電電流<>
真空度 10-3Torr (10-6Torr或更高可選)
探針座配置 x/y/z行程40mm 精度 1μm
探針配置 尺寸 0.5X30mm 材質 金
溫度范圍 77K-570K 液氮制冷 10K-570K 液氦制冷 溫度zui高可到1000K
觀察窗尺寸 100mm
真空系統 機械泵或分子泵
接口配置 三同軸
測試源表 連接各類測試源表,并可進行相應的軟件二次開發,加大系統整合性及測試穩定性,支持RF測試